Дан обзор результатов исследований неравновесного фликкер-шума (1/f ^γ-шума) в проводящих пленках различных материалов и тонкопленочных контактах. Представлены методы исследований неравновесных фликкерных флуктуаций, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум (НФШ) из полной мощности шума. Проведена систематизация опубликованных результатов по НФШ в пленках металлов и сплавов, в резисторах на основе пленок Ni/Cr и нитрида тантала Ta_xN_y и в контактах. Показано, что в проводящих пленках существуют различные виды НФШ. Наблюдаются стационарный и нестационарный НФШ, что определяется условиями испытаний, внешними воздействиями и микроструктурой пленки. Дано обоснование метода неразрушающего контроля качества тонкопленочных проводников по измерениям 1/f ^γ-шума. Для большинства пассивных компонентов интегральных микросхем (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень НФШ является наиболее информативным параметром качества по сравнению с равновесным фликкер-шумом.

PACS: 05.40.Ca, 72.70.+m, 73.50.Td, 85.40.Qx (все) DOI: 10.3367/UFNr.0173.200305a.0465 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/5/a/ 000185206600001 Цитата: Жигальский Г П "Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах." УФН 173 465–490 (2003) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks English citation: Zhigal’skii G P “Nonequilibrium 1/f γ noise in conducting films and contacts” Phys. Usp. 46 449–471 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244