RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2003

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах.


Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", пл. Шокина, д. 1, Зеленоград, Москва, 124498, Российская Федерация

Дан обзор результатов исследований неравновесного фликкер-шума (1/f γ-шума) в проводящих пленках различных материалов и тонкопленочных контактах. Представлены методы исследований неравновесных фликкерных флуктуаций, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум (НФШ) из полной мощности шума. Проведена систематизация опубликованных результатов по НФШ в пленках металлов и сплавов, в резисторах на основе пленок Ni/Cr и нитрида тантала TaxNy и в контактах. Показано, что в проводящих пленках существуют различные виды НФШ. Наблюдаются стационарный и нестационарный НФШ, что определяется условиями испытаний, внешними воздействиями и микроструктурой пленки. Дано обоснование метода неразрушающего контроля качества тонкопленочных проводников по измерениям 1/f γ-шума. Для большинства пассивных компонентов интегральных микросхем (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень НФШ является наиболее информативным параметром качества по сравнению с равновесным фликкер-шумом.

Текст pdf (529 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244
PACS: 05.40.Ca, 72.70.+m, 73.50.Td, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0173.200305a.0465
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/5/a/
000185206600001
Цитата: Жигальский Г П "Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах." УФН 173 465–490 (2003)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Zhigal’skii G P “Nonequilibrium 1/f γ noise in conducting films and contacts” Phys. Usp. 46 449–471 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244

Список литературы (97) Статьи, ссылающиеся на эту (36) ↓ Похожие статьи (15)

  1. Ivanov A M, Klochkov A V Semiconductors 57 354 (2023)
  2. Ivanov A M, Nenashev G V, Aleshin A N J Mater Sci: Mater Electron 33 21666 (2022)
  3. Ivanov A M Tech. Phys. 66 71 (2021)
  4. Dalcanale S, Uren M J et al IEEE Trans. Electron Devices 68 2220 (2021)
  5. Loginov D S, Baskakova A V et al J. Phys.: Conf. Ser. 2103 012232 (2021)
  6. Zakharov Yu A, Gots S S, Bakhtizin R Z Izmer. Tekhn. (5) 18 (2021)
  7. Zakharov Yu A, Gots S S, Bakhtizin R Z Meas Tech 64 364 (2021)
  8. Zakharov Yu A, Ghots S S, Bakhtizin R Z Radiophys Quantum El 63 227 (2020)
  9. Bondariev A, Horbatyi I et al Measurement 136 269 (2019)
  10. Gorban’ I I Tech. Phys. 63 1722 (2018)
  11. Gorban I I Randomness and Hyper-randomness Mathematical Engineering Chapter 6 (2018) p. 91
  12. Kolodiy Z A, Stadnyk B I et al Aut. Control Comp. Sci. 52 311 (2018)
  13. Gorban I I The Statistical Stability Phenomenon Mathematical Engineering Chapter 8 (2017) p. 111
  14. Chernyakov A E, Kartashova A P et al 2016 17th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), (2016) p. 1
  15. Janahmadov A Kh, Javadov M Y Synergetics and Fractals in Tribology Materials Forming, Machining and Tribology Chapter 8 (2016) p. 333
  16. Kuzovlev Yu E Успехи физических наук 185 773 (2015) [Kuzovlev Yu E Phys.-Usp. 58 719 (2015)]
  17. Zhigal’skii G P, Kholomina T A J. Commun. Technol. Electron. 60 517 (2015)
  18. Kolodiy A Z, Kolodiy Z A Aut. Control Comp. Sci. 48 243 (2014)
  19. Gerashchenko O V, Matveev V A et al Phys. Solid State 56 1438 (2014)
  20. Zakheim A L, Levinshtein M E et al Semiconductors 46 208 (2012)
  21. Dolgin B, Belogolovskii M et al 112 (11) (2012)
  22. Gorban I I Radioelectron.Commun.Syst. 55 99 (2012)
  23. Belogolovskii M, Jung G et al 109 (7) (2011)
  24. Budak V P, Veklenko B A Journal of Quantitative Spectroscopy and Radiative Transfer 112 864 (2011)
  25. Zhigal’ski G P J. Commun. Technol. Electron. 55 241 (2010)
  26. Kolodiy Z A, Kolodiy A Z Aut. Conrol Comp. Sci. 43 179 (2009)
  27. Averkiev N S, Levinshtein M E et al Tech. Phys. Lett. 35 922 (2009)
  28. Kaulakys B, Alaburda M J. Stat. Mech. 2009 P02051 (2009)
  29. Gerashchenko O V Tech. Phys. Lett. 34 124 (2008)
  30. Stakhovsky I R Izv., Phys. Solid Earth 43 1012 (2007)
  31. Zhigal’skii G P, Gvas’kov A A, Sitkin P O J. Commun. Technol. Electron. 52 701 (2007)
  32. Timashev S F Russ J Electrochem 42 424 (2006)
  33. Rumyantsev S L, Levinshteĭn M E et al Phys. Solid State 48 2194 (2006)
  34. Veklenko B A J. Exp. Theor. Phys. 101 568 (2005)
  35. Vitusevich S A, Danylyuk S V et al Applied Surface Science 238 143 (2004)
  36. Vitusevich S A, Danylyuk S V et al 96 5625 (2004)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение