RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2003

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах.


Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", пл. Шокина, д. 1, Зеленоград, Москва, 124498, Российская Федерация

Дан обзор результатов исследований неравновесного фликкер-шума (1/f γ-шума) в проводящих пленках различных материалов и тонкопленочных контактах. Представлены методы исследований неравновесных фликкерных флуктуаций, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум (НФШ) из полной мощности шума. Проведена систематизация опубликованных результатов по НФШ в пленках металлов и сплавов, в резисторах на основе пленок Ni/Cr и нитрида тантала TaxNy и в контактах. Показано, что в проводящих пленках существуют различные виды НФШ. Наблюдаются стационарный и нестационарный НФШ, что определяется условиями испытаний, внешними воздействиями и микроструктурой пленки. Дано обоснование метода неразрушающего контроля качества тонкопленочных проводников по измерениям 1/f γ-шума. Для большинства пассивных компонентов интегральных микросхем (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень НФШ является наиболее информативным параметром качества по сравнению с равновесным фликкер-шумом.

Текст pdf (529 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244
PACS: 05.40.Ca, 72.70.+m, 73.50.Td, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0173.200305a.0465
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/5/a/
000185206600001
Цитата: Жигальский Г П "Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах." УФН 173 465–490 (2003)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Zhigal’skii G P “Nonequilibrium 1/f γ noise in conducting films and contacts” Phys. Usp. 46 449–471 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244

Список литературы (97) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (36) Похожие статьи (15)

  1. Johnson J В Phys. Rev. 26 71 (1925)
  2. Schottky W Phys. Rev. 28 74 (1926)
  3. Бочков Г Н, Кузовлев Ю Е УФН 141 151 (1983); Bochkov G N, Kuzovlev Yu E Sov. Phys. Usp. 26 829 (1983)
  4. Hooge F N, Kleinpenning Т G М, Vandamme L К J Rep. Prog. Phys. 44 479 (1981)
  5. Dutta P, Horn P M Rev. Mod. Phys. 53 497 (1981)
  6. Коган Ш М УФН 145 285 (1985); Kogan Sh M Sov. Phys. Usp. 28 170 (1985)
  7. Weissman М В Rev. Mod. Phys. 60 537 (1988)
  8. Жигальский Г П УФН 167 623 (1997); Zhiga'skii G P Phys. Usp. 40 599 (1997)
  9. Hooge F N IEEE Trans. Electron Dev. 41 1926 (1994)
  10. Voss R F, Clarke J Phys. Rev. Lett. 36 42 (1976)
  11. Гуляев А М, Кукоев И В, Мирошникова И Н в сб. Материалы докладов международного научно-технического семинара "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (М.: МНТОРЭС, 2001) с. 21
  12. Neri B, Diligenti A, Bagnoli P E IEEE Trans. Electron Dev. 34 2317 (1987)
  13. Touboul A, Verdier F, Herve Y in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: Proc. of the Intern. Conf., Kyoto, Japan, 1991 (Eds T Musha, S Sato, M Yamamoto) (Tokyo: Onmsha, 1992) p. 73
  14. Neri B, Ciofi C, Dattilo V IEEE Trans. Electron Dev. 44 1454 (1997)
  15. Hooge F N, Hoppenbrouwers А М Н Physica 45 386 (1969)
  16. Hooge F N Physica B + C 83 14 (1976)
  17. Hooge F N in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: Proc. of the 14th Intern. Conf., Leuven, Belgium, 14 - 18 July, 1997 (Eds C Claeys, E Simoen) (Singapore: World Scientific, 1997) p. 3
  18. Giordano N Rev. Solid State Sci. 3 27 (1989)
  19. Musha T in Proc. of the 15th Intern. Conf. on Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations, Hong Kong, Aug. 23 - 26, 1999 (Ed. C Surya) (Hong Kong: Polytechnic Univ., 1999) p. 18
  20. Бокштейн Б С Диффузия в металлах (М.: Металлургия, 1978)
  21. Жирифалько Л Статистическая физика твердого тела (М.: Мир, 1975)
  22. Потемкин В В, Бакши И С, Жигальский Г П Радиотехника и электроника 28 221 (1983)
  23. Ван-дер-Зил А Флуктуационные явления в полупроводниках (М.: ИЛ, 1961)
  24. Букингем М Шумы в электронных приборах и системах (М.: Мир, 1986)
  25. Жигальский Г П Письма в ЖЭТФ 54 510 (1991)
  26. Zhigalskii G P in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: Proc. of the Intern. Conf., Kyoto, Japan, 1991 (Eds T Musha, S Sato, M Yamamoto) (Tokyo: Ohmsha, 1992) p. 39
  27. Жигальский Г П Журн. физ. химии 69 1355 (1995)
  28. Zhigal'skii G P, Jones B K in Proc. of the 15th Intern. Conf., on Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations, Hong Kong, Aug. 23 - 26, 1999 (Ed. C Surya) (Hong Kong: Polytechnic Univ., 1999) p. 172
  29. Чопра К Л Электрические явления в тонких пленках (М.: Мир, 1972)
  30. Жигальский Г П Физические явления в тонких металлических пленках (М.: Изд-во МИЭТ, 1996)
  31. Жигальский Г П, Карев А В Радиотехника и электроника 44 220 (1999)
  32. Kirbi P L Electron. Eng. 37 722 (1965)
  33. Zhigal'skii G P in Fluctuation Phenomena in Physical Systems: Proc. of the 7th Vilnius Conf., Palanga, Lithuania, 4 - 7 Oct., 1994 (Ed. V Palenskis) (Vilnius: Vilnius Univ. Press, 1994) p. 285
  34. Jones B K, Zhigal'skii G P in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: ICNF 2001: Proc. of the 16th Intern. Conf., Gainesville, Florida, USA, 22 - 25 Oct. 2001 (Ed. G Bosman) (River Edge, NJ: World Scientific, 2001) p. 73
  35. Lorteije J H J, Hoppenbrouwers А М Н Philips Res. Rep. 26 29 (1971)
  36. Jones В K, Francis J D J. Phys. D 8 1172 (1975)
  37. Паленскис В П, Леонтьев Г Е, Миколайтис Г С Радиотехника и электроника 21 2433 (1976)
  38. Jones В К Electron. Lett. 12 110 (1976)
  39. Малахов А Н Флуктуации в автоколебательных системах (М.: Наука, 1968)
  40. Жигальский Г П, Карев А В Оборонный комплекс — научно-техническому прогрессу России (3 - 4) 50 (1997)
  41. Томпсон М Дефекты и радиационные повреждения в металлах (М.: Наука, 1983)
  42. Жигальский Г П в сб. Материалы докладов международного научно-технического семинара "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (М.: МНТОРЭС, 1997) с. 152
  43. Дульнев Г Н, Семяшкин Э М Теплообмен в радиоэлектронных аппаратах (Л.: Энергия, 1968)
  44. Schwarz J A et al. J. Appl. Phys. 70 1561 (1991)
  45. Potemkin V V, Stepanov A V, Zhigal'skii G P AIP Conf. Proc. 285 61 (1993)
  46. Sikula J, Touboul A AIP Conf. Proc. 285 206 (1993)
  47. Bagnoli Р Е et al. J. Appl. Phys. 63 1448 (1988)
  48. Neri В et al. in Noise in Physical Systems: Including 1/f Noise, Biological Systems and Membranes: Proc. of the 10th Intern. Conf., Aug. 21 - 25, 1989, Budapest, Hungary (Ed. A Ambrózy) (Budapest: Akadémiai Kiadó, 1990) p. 237
  49. Chen Т M, Fang P, Cottle J G in Noise in Physical Systems: Including 1/f Noise, Biological Systems and Membranes: Proc. of the 10th Intern. Conf., Aug. 21 - 25, 1989, Budapest, Hungary (Ed. A Ambrózy) (Budapest: Akadémiai Kiadó, 1990) p. 515
  50. Smith R G, Biery G A, Rodbell K P Appl. Phys. Lett. 65 315 (1994)
  51. Chen Т M AIP Conf. Proc. 285 17 (1993)
  52. Yassine A M, Chen Т М in Proc. of the 13th Conf. "Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations" (Eds V Bareikis, R Katilius) (Singapore: World Scientific, 1995) p. 614
  53. Ciofi C, Diligenti A, Neri B in Proc. of the 13th Conf. "Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations" (Eds V Bareikis, R Katilius) (Singapore: World Scientific, 1995) p. 618
  54. Diligenti A et al. IEEE Electron Dev. Lett. 44 606 (1985)
  55. Celik-Butler Z AIP Conf. Proc. 285 200 (1993)
  56. Chen T M AIP Conf. Proc. 285 17 (1993)
  57. Yassine A M, Chen C T-M IEEE Trans. Electron Dev. 44 180 (1997)
  58. Д'Эрль Ф, Розенберг Р в кн. Физика тонких пленок Т. 7 (Под ред. Дж Хасса, М X Франкомба, Р У Гофмана) (М.: Мир, 1977) с. 284
  59. Поут Дж, Ту К, Мейер Дж (Ред.) Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции (М.: Мир, 1982)
  60. Dagge K et al. AIP Conf. Proc. 285 603 (1993)
  61. Jones B K Adv. Electron. El. Phys. 87 201 (1994)
  62. Жигальский Г П, Бакши И С Радиотехника и электроника 25 771 (1980)
  63. Koch R Н, Lloyd J R, CronJ Phys. Rev. Lett. 55 2487 (1985)
  64. Ochs E et al. in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: Proc. of the 14th Intern. Conf., Leuven, Belgium, 14 - 18 July, 1997 (Eds C Claeys, E Simoen) (Singapore: World Scientific, 1997) p. 415
  65. Volin T E, Lie K H, Balluffi R W Acta Metall. 19 263 (1971)
  66. Seeger A, Stoll H in Proc. of the 15th Intern. Conf. on Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations, Hong Kong, Aug. 23 - 26, 1999 (Ed. C Surya) (Hong Kong: Polytechnic Univ., 1999) p. 162
  67. Neri B, Olivo P, Riccò B Appl. Phys. Lett. 51 2167 (1987)
  68. Жигальский Г П Радиотехника и электроника 44 1413 (1999)
  69. Смирнов В И, Мата Ф Ю Теория конструкций контактов в электронной аппаратуре (М.: Советское радио, 1974)
  70. Жигальский Г П, Зайцев В В Изв. вузов. Электроника (5) 79 (1997)
  71. Осокин Н Е Изв. вузов. Электроника (1 -- 2) 119 (1999)
  72. Жигальский Г П, Карев А В, Косенко В Е Электронная техника. Сер. 6. Материалы (1) 70 (1992)
  73. Холлэнд Л (Ред.) Пленочная микроэлектроника (М.: Мир, 1968)
  74. Палатник Л С, Фукс М Я, Косевич В М Механизм образования и структура конденсированных пленок (М.: Наука, 1972)
  75. Zhigal'skii G P, Karev A V in Proc. of the 13th Conf. "Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations" (Eds V Bareikis, R Katilius) (Singapore: World Scientific, 1995) p. 323
  76. Жильков Э А и др. в сб. Полупроводниковые приборы и интегральные схемы (Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники, Вып. 27. Отв. ред. А А Орликовский) (М.: МИЭТ, 1976) с. 127
  77. Potemkin V V et al. in Fluctuation Phenomena in Physical Systems: Proc. of the 6th Sci. Conf., Sept. 23 - 27, 1991, Palanga, Lithuania (Ed. V Palenskis) (Vilnius: Vilnius Univ. Press, 1991) p. 79
  78. Жигальский Г П, Куров Г А, Сиранашвили И Ш Изв. вузов. Радиофизика 26 207 (1983)
  79. Куров Г А, Жигальский Г П, Сиранашвили И Ш в сб. Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем. Материалы 2-го Всесоюз. научно-технического семинара (Рязань: Изд-во РРТИ, 1982) с. 41
  80. Жигальский Г П, Федоров А С Изв. вузов. Радиофизика 28 1192 (1985)
  81. Briggmann J et al. AIP Conf. Proc. 285 607 (1993)
  82. Dagge K et al. in Proc. of the 13th Conf. "Noise in Physical Systems and 1 /f Fluctuations" (Eds V Bareikis, R Katilius) (Singapore: World Scientific, 1995) p. 603
  83. Pelz J, Clarke J Phys. Rev. Lett. 55 738 (1985)
  84. Fleetwood D M, Giordano N Phys. Rev. B 28 3625 (1983)
  85. Жигальский Г П, Соков Ю Е, Томсон Н Г в сб. Физика полупроводников и микроэлектроника (Рязань: Изд-во РРТИ, 1977) с. 63
  86. Zhigal'skii G P AIP Conf. Proc. 285 81 (1993)
  87. Жигальский Г П, Соков Ю Е, Томсон Н Г Радиотехника и электроника 24 410 (1979)
  88. Akabane H, Agu M in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: ICNF 2001: Proc. of the 16th Intern. Conf., Gainesville, Florida, USA, 22 - 25 Oct. 2001 (Ed. G Bosman) (River Edge, NJ: World Scientific, 2001) p. 99
  89. Потемкин В В, Бакши И С, Жигальский Г П в сб. Электро-флуктуационная диагностика материалов и изделий электронной техники (М.: Изд-во ЦНИИИТЭИ, 1981) с. 52
  90. Chen Т М, Djeu Т Р, Moore R D in Proc. on Reliability Physics, Orlando, 1985 (New York: IEEE Publ., 1985) p. 87
  91. Jones B K, Xu Y Z Microelectron. Reliab. 33 1829 (1993)
  92. Sikula J et al. in Proc. of the 15th Intern. Conf. on Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations, Hong Kong, Aug. 23 - 26, 1999 (Ed. C Surya) (Hong Kong: Polytechnic Univ, 1999) p. 154
  93. Sedlakova V et al. in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: ICNF 2001: Proc. of the 16th Intern. Conf., Gainesville, Florida, USA, 22 - 25 Oct. 2001 (Ed. G Bosman) (River Edge, NJ: World Scientific, 2001) p. 747
  94. Тimashev S F in Noise in Physical Systems and 1/f Fluctuations: ICNF 2001: Proc. of the 16th Intern. Conf., Gainesville, Florida, USA, 22 - 25 Oct. 2001 (Ed. G Bosman) (River Edge, NJ: World Scientific, 2001) p. 775
  95. Тимашев С Ф Журн. физ. химии 75 1900 (2001)
  96. Пархутик В П, Тимашев С Ф Электрохимия 36 1378 (2000)
  97. Kostuchenko G T, Timashev S F in Chaotic Universe (Advanced Ser. in Astrophys. and Cosmology, Vol. 10, Eds V G Gurzadyan, R Ruffini) (Singapore: World Scientific, 2000) p. 579
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение