Выпуски

 / 

1988

 / 

Ноябрь

  

Обзоры актуальных проблем


Неупругое распыление твердых тел ионами

,  а, ,
а Институт ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ionsSov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

Список литературы (106) Статьи, ссылающиеся на эту (107) Похожие статьи (20) ↓

  1. Ф.Ф. Комаров «Дефектообразование и трекообразование в твердых телах при облучении ионами сверхвысоких энергий» 173 1287–1318 (2003)
  2. А.М. Митерев «Теоретические представления о формировании и эволюции треков заряженных частиц» 172 1131–1164 (2002)
  3. Ф.Ф. Комаров «Нано- и микроструктурирование твёрдых тел быстрыми тяжёлыми ионами» 187 465–504 (2017)
  4. А.П. Жернов, А.В. Инюшкин «Кинетические коэффициенты в кристаллах с изотопическим беспорядком» 172 573–599 (2002)
  5. Р.И. Гарбер, А.И. Федоренко «Фокусировка атомных столкновений в кристаллах» 83 385–432 (1964)
  6. Л.М. Лямшев «Радиационная акустика» 162 (4) 43–94 (1992)
  7. Я.М. Фогель «Вторичная ионная эмиссия» 91 75–112 (1967)
  8. И.Ю. Толстихина, В.П. Шевелько «Влияние атомных процессов на зарядовые состояния и фракции быстрых тяжёлых ионов при прохождении через газовые, твердотельные и плазменные мишени» 188 267–300 (2018)
  9. В.С. Вавилов «Миграция атомов в полупроводниках и изменения числа и структуры дефектов, инициируемые возбуждением электронной подсистемы» 167 407–412 (1997)
  10. В.Е. Погорелов, А.И. Лизенгевич и др. «Колебательная релаксация в конденсированных средах» 127 683–704 (1979)
  11. В.Е. Захаров, Е.А. Кузнецов «Солитоны и коллапсы: два сценария эволюции нелинейных волновых систем» 182 569–592 (2012)
  12. А.А. Рухадзе, В.П. Силин «Линейные электромагнитные явления в плазме» 76 79–108 (1962)
  13. А.А. Рухадзе, В.П. Силин «Электродинамика сред с пространственной дисперсией» 74 223–267 (1961)
  14. О. Кнаке, И.Н. Странский «Механизм испарения» 68 261–305 (1959)
  15. М.И. Гусева, Ю.В. Мартыненко «Радиационный блистеринг» 135 671–691 (1981)
  16. С.В. Дмитриев, Е.А. Корзникова и др. «Дискретные бризеры в кристаллах» 186 471–488 (2016)
  17. Ш.М. Коган «Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах» 145 285–328 (1985)
  18. И.А. Аброян, М.А. Еремеев, Н.Н. Петров «Возбуждение электронов в твердых телах сравнительно медленными атомными частицами» 92 105–157 (1967)
  19. В.А. Базылев, М.И. Чибисов «Возбуждение и ионизация многозарядных ионов электронами» 133 617–652 (1981)
  20. В.А. Иванов «Диссоциативная рекомбинация молекулярных ионов в плазме инертных газов» 162 (1) 35–70 (1992)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение