RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

1988

 / 

ноябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Неупругое распыление твердых тел ионами

,  а, ,
а Институт ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст pdf (994 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646
PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ions” Sov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

Список литературы (106) Статьи, ссылающиеся на эту (124) Похожие статьи (20) ↓

  1. Ф.Ф. Комаров «Дефектообразование и трекообразование в твердых телах при облучении ионами сверхвысоких энергий» УФН 173 1287–1318 (2003)
  2. А.М. Митерев «Теоретические представления о формировании и эволюции треков заряженных частиц» УФН 172 1131–1164 (2002)
  3. Ф.Ф. Комаров «Нано- и микроструктурирование твёрдых тел быстрыми тяжёлыми ионами» УФН 187 465–504 (2017)
  4. А.П. Жернов, А.В. Инюшкин «Кинетические коэффициенты в кристаллах с изотопическим беспорядком» УФН 172 573–599 (2002)
  5. В.С. Вавилов «Миграция атомов в полупроводниках и изменения числа и структуры дефектов, инициируемые возбуждением электронной подсистемы» УФН 167 407–412 (1997)
  6. Р.И. Гарбер, А.И. Федоренко «Фокусировка атомных столкновений в кристаллах» УФН 83 385–432 (1964)
  7. Л.М. Лямшев «Радиационная акустика» УФН 162 (4) 43–94 (1992)
  8. В.П. Коваленко «Электронные сгустки в нелинейном коллективном взаимодействии пучков с плазмой» УФН 139 223–263 (1983)
  9. К.Н. Мухин, О.О. Патаракин «Дельта-изобара в ядрах (обзор экспериментальных данных)» УФН 165 841–886 (1995)
  10. Я.М. Фогель «Вторичная ионная эмиссия» УФН 91 75–112 (1967)
  11. В.С. Беляев, В.П. Крайнов и др. «Генерация быстрых заряженных частиц и сверхсильных магнитных полей при взаимодействии сверхкоротких интенсивных лазерных импульсов с твердотельными мишенями» УФН 178 823–847 (2008)
  12. Н.А. Тяпунина, Э.П. Белозерова «Заряженные дислокации и свойства щелочногалоидных кристаллов» УФН 156 683–717 (1988)
  13. Р.З. Левитин, А.С. Маркосян «Зонный метамагнетизм» УФН 155 623–657 (1988)
  14. Л.М. Зеленый, А.В. Милованов «Фрактальная топология и странная кинетика: от теории перколяции к проблемам космической электродинамики» УФН 174 809–852 (2004)
  15. Г.А. Месяц «Законы подобия в импульсных газовых разрядах» УФН 176 1069–1091 (2006)
  16. О.Ю. Беляева, Л.К. Зарембо, С.Н. Карпачев «Магнитоакустика ферритов и магнитоакустический резонанс» УФН 162 (2) 107–138 (1992)
  17. В.Е. Бисти, А.Б. Ваньков и др. «Магнитоэкситоны в двумерных электронных системах» УФН 185 337–352 (2015)
  18. С.В. Дмитриев, Е.А. Корзникова и др. «Дискретные бризеры в кристаллах» УФН 186 471–488 (2016)
  19. Г.А. Месяц «Эктон — лавина электронов из металла» УФН 165 601–626 (1995)
  20. А.В. Елецкий, Б.М. Смирнов «Неоднородная газоразрядная плазма» УФН 166 1197–1217 (1996)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение