Выпуски

 / 

1988

 / 

Ноябрь

  

Обзоры актуальных проблем


Неупругое распыление твердых тел ионами

,  а, ,
а Институт ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст pdf (994 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646
PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ionsSov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

Список литературы (106) Статьи, ссылающиеся на эту (116) Похожие статьи (20) ↓

  1. Ф.Ф. Комаров «Дефектообразование и трекообразование в твердых телах при облучении ионами сверхвысоких энергий» УФН 173 1287–1318 (2003)
  2. А.М. Митерев «Теоретические представления о формировании и эволюции треков заряженных частиц» УФН 172 1131–1164 (2002)
  3. Ф.Ф. Комаров «Нано- и микроструктурирование твёрдых тел быстрыми тяжёлыми ионами» УФН 187 465–504 (2017)
  4. А.П. Жернов, А.В. Инюшкин «Кинетические коэффициенты в кристаллах с изотопическим беспорядком» УФН 172 573–599 (2002)
  5. Р.И. Гарбер, А.И. Федоренко «Фокусировка атомных столкновений в кристаллах» УФН 83 385–432 (1964)
  6. И.Ю. Толстихина, В.П. Шевелько «Влияние атомных процессов на зарядовые состояния и фракции быстрых тяжёлых ионов при прохождении через газовые, твердотельные и плазменные мишени» УФН 188 267–300 (2018)
  7. Л.М. Лямшев «Радиационная акустика» УФН 162 (4) 43–94 (1992)
  8. Я.М. Фогель «Вторичная ионная эмиссия» УФН 91 75–112 (1967)
  9. В.Е. Погорелов, А.И. Лизенгевич и др. «Колебательная релаксация в конденсированных средах» УФН 127 683–704 (1979)
  10. В.Л. Гинзбург, В.А. Догель «Некоторые проблемы гамма-астрономии» УФН 158 3–58 (1989)
  11. И.Т. Якубов «Электропроводность неидеальной плазмы» УФН 163 (5) 35–51 (1993)
  12. Б.А. Надыкто «Полуэмпирическая модель расчета энергий состояний многоэлектронных атомов и ионов» УФН 163 (9) 37–74 (1993)
  13. Ю.Ф. Быдин, Ю.Н. Демков «Спектры электронов при медленных столкновениях отрицательных ионов и атомов» УФН 137 377–414 (1982)
  14. К.Н. Мухин, О.О. Патаракин «Дельта-изобара в ядрах (обзор экспериментальных данных)» УФН 165 841–886 (1995)
  15. Г.В. Дедков «Межатомные потенциалы взаимодействия в радиационной физике» УФН 165 919–953 (1995)
  16. М.И. Гусева, Ю.В. Мартыненко «Радиационный блистеринг» УФН 135 671–691 (1981)
  17. С.В. Дмитриев, Е.А. Корзникова и др. «Дискретные бризеры в кристаллах» УФН 186 471–488 (2016)
  18. В.С. Вавилов «Миграция атомов в полупроводниках и изменения числа и структуры дефектов, инициируемые возбуждением электронной подсистемы» УФН 167 407–412 (1997)
  19. Б.О. Кербиков, Л.А. Кондратюк, М.Г. Сапожников «Адронная физика на пучках антипротонов низких энергий» УФН 159 3–43 (1989)
  20. В.И. Лендьел, В.Т. Навроцкий, Е.П. Сабад «Резонансы в рассеянии электронов на атомах и ионах» УФН 151 425–468 (1987)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение