Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

@article{Baranov:1988,
	author = {И. А. Баранов and Ю. В. Мартыненко and С. О. Цепелевич and Ю. Н. Явлинский},
	title = {Неупругое распыление твердых тел ионами},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1988},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {156},
	number = {11},
	pages = {477-511},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/},
	doi = {10.3367/UFNr.0156.198811c.0477}
}