Неупругое распыление твердых тел ионами

И.А. Баранов, Ю.В. Мартыненко^а, С.О. Цепелевич, Ю.Н. Явлинский
^аИнститут ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст pdf (994 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Неупругое распыление твердых тел ионами
A1 Баранов,И.А.
A1 Мартыненко,Ю.В.
A1 Цепелевич,С.О.
A1 Явлинский,Ю.Н.
PB Успехи физических наук
PY 1988
FD 10 Nov, 1988
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 156
IS 11
SP 477-511
DO 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
LK https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ions” Sov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646