Выпуски

 / 

1988

 / 

Ноябрь

  

Обзоры актуальных проблем


Неупругое распыление твердых тел ионами

,  а, ,
а Институт ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Inelastic sputtering of solids by ions
A1 Baranov,I.A.
A1 Martynenko,Yu.V.
A1 Tsepelevich,S.O.
A1 Yavlinskii,Yu.N.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1988
FD 10 Nov, 1988
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 156
IS 11
SP 477-511
DO 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
LK https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ionsSov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение