Неупругое распыление твердых тел ионами

И.А. Баранов, Ю.В. Мартыненко^а, С.О. Цепелевич, Ю.Н. Явлинский
^аИнститут ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст pdf (994 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

%0 Journal Article
%T Inelastic sputtering of solids by ions
%A I. A. Baranov
%A Yu. V. Martynenko
%A S. O. Tsepelevich
%A Yu. N. Yavlinskii
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 1988
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 156
%N 11
%P 477-511
%U https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0156.198811c.0477

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ions” Sov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646