Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 X-ray lithography in synchrotron radiation beams
A1 Aleksandrov,Yu.M.
A1 Krivospitskii,A.D.
A1 Yakimenko,M.N.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1979
FD 10 May, 1979
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 128
IS 5
SP 180-181
DO 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
LK https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503