Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения
A1 Александров,Ю.М.
A1 Кривоспицкий,А.Д.
A1 Якименко,М.Н.
PB Успехи физических наук
PY 1979
FD 10 May, 1979
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 128
IS 5
SP 180-181
DO 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
LK https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503