Выпуски

 / 

1979

 / 

Май

  

Совещания и конференции


Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

Научная сессия Отделения общей физики и астрономии АН СССР (29–30 ноября 1978 г.)

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)
BibTex BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
%0 Journal Article
%T Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения
%A Ю. М. Александров
%A А. Д. Кривоспицкий
%A М. Н. Якименко
%I Успехи физических наук
%D 1979
%J Усп. физ. наук
%V 128
%N 5
%P 180-181
%U https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0128.197905i.0180

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beamsSov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение