Выпуски

 / 

1979

 / 

Май

  

Совещания и конференции


Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

Научная сессия Отделения общей физики и астрономии АН СССР (29–30 ноября 1978 г.)

Текст pdf (1,4 Мб)
PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)
BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
TY JOUR
TI Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения
AU Александров, Ю. М.
AU Кривоспицкий, А. Д.
AU Якименко, М. Н.
PB Успехи физических наук
PY 1979
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 128
IS 5
SP 180-181
UR https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0128.197905i.0180

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beamsSov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение