Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Aleksandrov:1979,
	author = {Ю. М. Александров and А. Д. Кривоспицкий and М. Н. Якименко},
	title = {Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1979},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {128},
	number = {5},
	pages = {180-181},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/},
	doi = {10.3367/UFNr.0128.197905i.0180}
}

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503