Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI X-ray lithography in synchrotron radiation beams
AU Aleksandrov Yu M
FAU Aleksandrov YM
AU Krivospitskii A D
FAU Krivospitskii AD
AU Yakimenko M N
FAU Yakimenko MN
DP 10 May, 1979
TA Usp. Fiz. Nauk
VI 128
IP 5
PG 180-181
RX 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
SO Usp. Fiz. Nauk 1979 May 10;128(5):180-181

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503