Выпуск 12, 2024

Подписчикам

Для авторов

Выпуски

/

1979

/

Май

← →

Совещания и конференции

Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения

Ю.М. Александров, А.Д. Кривоспицкий, М.Н. Якименко

Научная сессия Отделения общей физики и астрономии АН СССР (29–30 ноября 1978 г.)

Текст pdf (1,4 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

PACS: 01.10.Fv
DOI: 10.3367/UFNr.0128.197905i.0180
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1979/5/i/
Цитата: Александров Ю М, Кривоспицкий А Д, Якименко М Н "Рентгенолитография в пучках синхротронного излучения" УФН 128 180–181 (1979)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Aleksandrov Yu M, Krivospitskii A D, Yakimenko M N “X-ray lithography in synchrotron radiation beams” Sov. Phys. Usp. 22 383–384 (1979); DOI: 10.1070/PU1979v022n05ABEH005503

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение