Химические способы получения высокого вакуума

Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10⁻¹¹ тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник "Vceco Instruments Inc." в Саннивейл, Калифорния (США).

Текст pdf (690 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН 111 150–157 (1973)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Kh'�'�'�ch'�с'�'�'� с'�'�с'�'�ы '�'�'�уch'�'�'�ya '�ыс'�'�'�'�'� '�'�'�уу'�'�
AU Том, Т.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1973
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 111
IS 9
SP 150-157
UR https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0111.197309f.0150