Химические способы получения высокого вакуума

Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10⁻¹¹ тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник "Vceco Instruments Inc." в Саннивейл, Калифорния (США).

Текст pdf (690 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН 111 150–157 (1973)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks