Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10−11 тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник ’Vceco Instruments Inc.’ в Саннивейл, Калифорния
(США).
DOI:10.3367/UFNr.0111.197309f.0150 URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/ Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН111 150–157 (1973)
RT Journal
T1 Химические способы получения высокого вакуума
A1 Том,Т.
PB Успехи физических наук
PY 1973
FD 10 Sep, 1973
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 111
IS 9
SP 150-157
DO 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
LK https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/