Химические способы получения высокого вакуума

Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10⁻¹¹ тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник ’Vceco Instruments Inc.’ в Саннивейл, Калифорния (США).

Текст pdf (690 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН 111 150–157 (1973)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI Химические способы получения высокого вакуума
AU Том Т
FAU Том Т
DP 10 Sep, 1973
TA Усп. физ. наук
VI 111
IP 9
PG 150-157
RX 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
SO Усп. физ. наук 1973 Sep 10;111(9):150-157