Выпуски

 / 

1973

 / 

Сентябрь

  

Физика наших дней


Химические способы получения высокого вакуума

Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10−11 тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник ’Vceco Instruments Inc.’ в Саннивейл, Калифорния (США).

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН 111 150–157 (1973)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение