Б.В. Лакатош

Московский физико-технический институт (Национальный исследовательский университет)
Адрес: Институтский пер. 9, Долгопрудный, Московская обл., 141701, Российская Федерация
Телефон: +7 (495) 408-45-54
Факс: +7 (495) 408-42-54
Вебсайт: mipt.ru

Статьи

Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов, Д.И. Астахов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)

См. также: П.В. Крайнов, Д.Б. Абраменко, В.М. Кривцун, О.Ф. Якушев, И.П. Цыгвинцев, М.В. Спиридонов, А.Д. Соломянная, Е.П. Снегирев, Ю.В. Сидельников, А.Н. Рябцев, В.В. Медведев, А.А. Лаш, М.С. Кривокорытов, П.С. Анциферов, К.Н. Кошелев

PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j