Л.А. Дорохин

Институт спектроскопии РАН
Адрес: ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
Телефон: +7 (495) 851-05-79
Факс: +7 (495) 851-08-86
Вебсайт: www.isan.troitsk.ru

Статьи

Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов, Д.И. Астахов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)

См. также: Д.Б. Абраменко, К.Н. Кошелев, П.С. Анциферов, Е.П. Снегирев, Ю.В. Сидельников, В.В. Медведев, В.М. Кривцун, М.С. Кривокорытов, А.Н. Рябцев, В.В. Иванов, Д.И. Астахов, Р.Р. Гаязов, Д.А. Ким, А.Д. Соломянная, А.А. Якушкин

PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j