RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 9, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2022

 / 

июль

←  →

Приборы и методы исследований


Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности

†  а, ‡  б,  а
а Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", пл. Шокина, д. 1, Зеленоград, Москва, 124498, Российская Федерация
б Институт математических проблем биологии РАН – филиал Института прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, ул. проф. Виткевича, д. 1, Пущино, Московская обл., 142290, Российская Федерация

Рассмотрены особенности анализа кривизны пластин с учётом неоднородности их рельефа для количественной оценки и локализации неровностей или для последующих расчётов механических напряжений. Проанализированы три подхода к расчёту кривизны поверхности по цифровой модели рельефа. Первый подход основан на анализе профилей поверхности пластины с использованием полиномиальной аппроксимации, расчёте радиуса кривизны по кривизне кривой; механические напряжения определяются по методу Стоуни. Второй — на использовании для анализа вторых частных производных функции высоты в декартовой или цилиндрической системе координат. Третий — на рассмотрении рельефа пластины целиком как двумерной матрицы высот и использовании математического аппарата дифференциальной геометрии и опыта геоморфометрии. Показана реализация данных подходов при исследовании пластины, подобной сегменту сферы, и пластины сложной формы.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.10.039076
Адреса для корреспонденции:
Ключевые слова: поверхность, рельеф, кривизна, радиус кривизны, прогиб, механические напряжения, деформация, формула Стоуни, кремниевая пластина, оптическая профилометрия, дефектность, геоморфометрия, цифровая модель рельефа, ЦМР
PACS: 68.35.Gy
DOI: 10.3367/UFNr.2021.10.039076
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/c/
001100230300004
2-s2.0-85165580531
2022PhyU...65..706D
Цитата: Дедкова А А, Флоринский И В, Дюжев Н А "Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности" УФН 192 754–771 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 29 марта 2021, доработана: 5 августа 2021, 6 октября 2021

English citation: Dedkova A A, Florinsky I V, Djuzhev N A “Approaches to determining curvature of wafers by their topography” Phys. Usp. 65 706–722 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.10.039076

Список литературы (112) Статьи, ссылающиеся на эту (10) Похожие статьи (16) ↓

  1. А.Д. Погребняк, А.А. Багдасарян и др. «Многокомпонентные нанокомпозитные покрытия с адаптивным поведением в поверхностной инженерии» УФН 187 629–652 (2017)
  2. А.Б. Толстогузов, П.Ю. Бабенко, А.Н. Зиновьев «Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий» УФН 196 48–82 (2026)
  3. В.П. Савиных, И.Ю. Васютинский, Д.В. Дементьев «Вертикальная рефракция света в приземном слое атмосферы: традиционные проблемы определения рефракции и новые технические достижения» УФН 192 926–943 (2022)
  4. А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов и др. «Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач» УФН 192 722–753 (2022)
  5. И.Ю. Ерёмчев, Д.В. Прокопова и др. «Трёхмерная флуоресцентная наноскопия одиночных квантовых излучателей на основе оптики спиральных пучков света» УФН 192 663–673 (2022)
  6. П.В. Зинин, К.М. Булатов и др. «Дистанционное измерение распределения температуры на поверхности твёрдых тел при воздействии мощного лазерного излучения» УФН 192 913–925 (2022)
  7. Д.А. Золотов, В.Е. Асадчиков и др. «Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии» УФН 193 1001–1009 (2023)
  8. В.А. Гаспаров «Исследования поверхности Ферми металлов с помощью высокочастотных размерных эффектов» УФН 188 311–324 (2018)
  9. И.В. Антонова «Применение материалов на основе графенав 2D печатных технологиях» УФН 187 220–234 (2017)
  10. С.С. Алимпиев, А.А. Гречников, С.М. Никифоров «Новые подходы в лазерной масс-спектрометрии органических объектов» УФН 185 207–212 (2015)
  11. А.В. Тимофеев «К теории плазменной переработки отработавшего ядерного топлива» УФН 184 1101–1133 (2014)
  12. О.В. Верходанов, А.Г. Дорошкевич «Системы пикселизации неба для анализа протяжённого излучения» УФН 183 849–862 (2013)
  13. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
  14. Г.А. Месяц «Электронная эмиссия из сегнетоэлектрических плазменных катодов» УФН 178 85–108 (2008)
  15. А.Д. Погребняк, Ю.Н. Тюрин «Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй» УФН 175 515–544 (2005)
  16. Р.З. Бахтизин, Т. Хашицуме и др. «Сканирующая туннельная микроскопия фуллеренов на поверхности металлов и полупроводников» УФН 167 289–307 (1997)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение