Выпуски

 / 

2022

 / 

Июль

  

Приборы и методы исследований


Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности

  а,   б,  а
а Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", пл. Шокина, д. 1, Зеленоград, Москва, 124498, Российская Федерация
б Институт математических проблем биологии РАН – филиал Института прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, ул. проф. Виткевича, д. 1, Пущино, Московская обл., 142290, Российская Федерация

Рассмотрены особенности анализа кривизны пластин с учётом неоднородности их рельефа для количественной оценки и локализации неровностей или для последующих расчётов механических напряжений. Проанализированы три подхода к расчёту кривизны поверхности по цифровой модели рельефа. Первый подход основан на анализе профилей поверхности пластины с использованием полиномиальной аппроксимации, расчёте радиуса кривизны по кривизне кривой; механические напряжения определяются по методу Стоуни. Второй — на использовании для анализа вторых частных производных функции высоты в декартовой или цилиндрической системе координат. Третий — на рассмотрении рельефа пластины целиком как двумерной матрицы высот и использовании математического аппарата дифференциальной геометрии и опыта геоморфометрии. Показана реализация данных подходов при исследовании пластины, подобной сегменту сферы, и пластины сложной формы.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.10.039076
Ключевые слова: поверхность, рельеф, кривизна, радиус кривизны, прогиб, механические напряжения, деформация, формула Стоуни, кремниевая пластина, оптическая профилометрия, дефектность, геоморфометрия, цифровая модель рельефа, ЦМР
PACS: 68.35.Gy
DOI: 10.3367/UFNr.2021.10.039076
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/c/
001100230300004
2-s2.0-85165580531
2022PhyU...65..706D
Цитата: Дедкова А А, Флоринский И В, Дюжев Н А "Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности" УФН 192 754–771 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Approaches to determining curvature of wafers by their topography
A1 Dedkova,A.A.
A1 Florinsky,I.V.
A1 Djuzhev,N.A.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2022
FD 10 Jul, 2022
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 192
IS 7
SP 754-771
DO 10.3367/UFNr.2021.10.039076
LK https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/c/

Поступила: 29 марта 2021, доработана: 5 августа 2021, 6 октября 2021

English citation: Dedkova A A, Florinsky I V, Djuzhev N A “Approaches to determining curvature of wafers by their topographyPhys. Usp. 65 706–722 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.10.039076

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение