RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 9, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Текст pdf (1,6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143
Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия
PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/
000353946800002
2-s2.0-84928982423
2015PhyU...58..134K
Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, 24 июня 2014

English citation: Khmelnitskiy R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143

Список литературы (132) Статьи, ссылающиеся на эту (65) Похожие статьи (20) ↓

  1. Р.А. Хмельницкий, Н.Б. Родионов и др. «Проблемы гомоэпитаксиального роста алмаза методом CVD и пути их решения» УФН 195 3–33 (2025)
  2. Е.А. Екимов, М.В. Кондрин «Примесно-вакансионные комплексы в алмазе: перспективы синтеза и применений» УФН 187 577–598 (2017)
  3. В.С. Вавилов «Алмаз в твердотельной электронике» УФН 167 17–22 (1997)
  4. А.А. Ширяев «Алмазная фаза углерода в космосе и возможности её обнаружения спектроскопическими методами» УФН 194 600–617 (2024)
  5. А.Е. Галашев, О.Р. Рахманова «Устойчивость графена и материалов на его основе при механических и термических воздействиях» УФН 184 1045–1065 (2014)
  6. А.В. Елецкий «Холодные полевые эмиттеры на основе углеродных нанотрубок» УФН 180 897–930 (2010)
  7. А.А. Лебедев, П.А. Иванов и др. «Электроника на основе SiC (к 100-летию Физико-технического института им. А.Ф. Иоффе РАН)» УФН 189 803–848 (2019)
  8. А.Г. Сыромятников, С.В. Колесников и др. «Формирование и свойства металлических атомных цепочек и проводов» УФН 191 705–737 (2021)
  9. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» УФН 161 (1) 71–142 (1991)
  10. П.В. Ратников, А.П. Силин «Двумерная графеновая электроника: современное состояние и перспективы» УФН 188 1249–1287 (2018)
  11. Г.В. Шпатаковская «Квазиклассическая модель строения вещества» УФН 182 457–494 (2012)
  12. М.В. Харламова «Электронные свойства одностенных углеродных нанотрубок и их производных» УФН 183 1145–1174 (2013)
  13. А.В. Елецкий, И.М. Искандарова и др. «Графен: методы получения и теплофизические свойства» УФН 181 233–268 (2011)
  14. Е.Ф. Шека «Электронно-колебательные спектры молекул и кристаллов» УФН 104 593–643 (1971)
  15. А.И. Савватимский, С.В. Онуфриев «Исследование физических свойств углерода при высоких температурах (по материалам экспериментальных работ)» УФН 190 1085–1108 (2020)
  16. А.Л. Ивановский «Новые высокотемпературные сверхпроводники на основе оксиарсенидов редкоземельных и переходных металлов и родственных фаз: синтез, свойства и моделирование» УФН 178 1273–1306 (2008)
  17. Р.А. Андриевский «Металлические нано- и микростёкла: новые подходы в наноструктурном материаловедении» УФН 183 277–285 (2013)
  18. Г.Н. Макаров «Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии» УФН 183 673–718 (2013)
  19. Е.Ф. Шека, Н.А. Попова, В.А. Попова «Физика и химия графена. Эмерджентность, магнетизм, механофизика и механохимия» УФН 188 720–772 (2018)
  20. В.Н. Дудоров, В.В. Рандошкин, Р.В. Телеснин «Синтез и физические свойства монокристаллических пленок редкоземельных ферритов-гранатов» УФН 122 253–293 (1977)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение