RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

Февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Текст pdf (1,6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143
Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия
PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/
000353946800002
2-s2.0-84928982423
2015PhyU...58..134K
Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, 24 июня 2014

English citation: Khmelnitskii R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143

Список литературы (132) Статьи, ссылающиеся на эту (49) Похожие статьи (20) ↓

  1. Е.А. Екимов, М.В. Кондрин «Примесно-вакансионные комплексы в алмазе: перспективы синтеза и применений» 187 577–598 (2017)
  2. В.С. Вавилов «Алмаз в твердотельной электронике» 167 17–22 (1997)
  3. А.Е. Галашев, О.Р. Рахманова «Устойчивость графена и материалов на его основе при механических и термических воздействиях» 184 1045–1065 (2014)
  4. А.А. Лебедев, П.А. Иванов и др. «Электроника на основе SiC (к 100-летию Физико-технического института им. А.Ф. Иоффе РАН)» 189 803–848 (2019)
  5. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» 161 (1) 71–142 (1991)
  6. П.В. Ратников, А.П. Силин «Двумерная графеновая электроника: современное состояние и перспективы» 188 1249–1287 (2018)
  7. Г.Н. Макаров «Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии» 183 673–718 (2013)
  8. Р.С. Берри, Б.М. Смирнов «Моделирование конфигурационных переходов в атомных системах» 183 1029–1057 (2013)
  9. М.В. Харламова «Электронные свойства одностенных углеродных нанотрубок и их производных» 183 1145–1174 (2013)
  10. А.А. Ширяев «Алмазная фаза углерода в космосе и возможности ее обнаружения спектроскопическими методами», принята к публикации
  11. В.Л. Цымбаленко «Удивительный рост граней кристалла гелия» 185 1163–1178 (2015)
  12. С.М. Стишов «Квантовые эффекты в конденсированных телах при высоких давлениях» 171 299–305 (2001)
  13. А.Г. Сыромятников, С.В. Колесников и др. «Формирование и свойства металлических атомных цепочек и проводов» 191 705–737 (2021)
  14. Е.Ф. Шека «Электронно-колебательные спектры молекул и кристаллов» 104 593–643 (1971)
  15. А.И. Жмакин «Физические основы криобиологии» 178 243–266 (2008)
  16. Р.А. Андриевский «Металлические нано- и микростёкла: новые подходы в наноструктурном материаловедении» 183 277–285 (2013)
  17. Г.В. Шпатаковская «Квазиклассическая модель строения вещества» 182 457–494 (2012)
  18. А.А. Бухараев, А.К. Звездин и др. «Стрейнтроника — новое направление микро- и наноэлектроники и науки о материалах» 188 1288–1330 (2018)
  19. Е.Ф. Шека, Н.А. Попова, В.А. Попова «Физика и химия графена. Эмерджентность, магнетизм, механофизика и механохимия» 188 720–772 (2018)
  20. А.В. Елецкий, И.М. Искандарова и др. «Графен: методы получения и теплофизические свойства» 181 233–268 (2011)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение