RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 1, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

Февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Текст pdf (1,6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143
Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия
PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/
000353946800002
2-s2.0-84928982423
2015PhyU...58..134K
Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, 24 июня 2014

English citation: Khmelnitskiy R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143

Список литературы (132) Статьи, ссылающиеся на эту (64) ↓ Похожие статьи (20)

  1. L’vov P E, Bulyarskiy S V et al Diamond and Related Materials 163 113374 (2026)
  2. Zhang D, Wang Y et al International Journal of Hydrogen Energy 207 153451 (2026)
  3. Khmelnitsky R A, Rodionov N B et al Успехи физических наук 195 (01) 3 (2025) [Khmelnitsky R A, Rodionov N B et al Phys. Usp. 68 (01) 3 (2025)]
  4. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Thermophys. Aeromech. 31 (6) 1153 (2025)
  5. Zhang D, Shen W et al J Mater Sci 60 (35) 15643 (2025)
  6. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al J Appl Mech Tech Phy 66 (3) 440 (2025)
  7. Zhang D, Chen T et al Applied Surface Science 702 163318 (2025)
  8. Chang X, Gao W et al Functional Diamond 5 (1) (2025)
  9. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Interfac Phenom Heat Transfer 13 (1) 45 (2025)
  10. Wang G, Chen X et al Technologies 13 (5) 172 (2025)
  11. L’vov P E, Bulyarskiy S V et al Diamond and Related Materials 159 112846 (2025)
  12. Li H, Zhang Zh et al Diamond and Related Materials 158 112709 (2025)
  13. Ku Ya, Huang W et al Carbon Energy 6 (7) (2024)
  14. (2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation Engineering) Vol. 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation EngineeringRelaxation processes during gas-jet deposition of diamond structures from a cloud of microwave-activated gasI. B.YudinM. Yu.PlotnikovA. K.Rebrov3050 (2024) p. 080006
  15. Shiryaev A A Успехи физических наук 194 (06) 600 (2024) [Shiryaev A A Phys. Usp. 67 (06) 561 (2024)]
  16. Sedov V, Wei Ju, Ralchenko V Topics in Applied Physics Vol. Novel Aspects of Diamond IIPolycrystalline Diamond: Recent Advances in CVD Synthesis and Applications149 Chapter 5 (2024) p. 101
  17. Emelyanov A A, Plotnilkov M Yu et al J Appl Mech Tech Phy 64 (5) 748 (2023)
  18. Yang Ch, Mi Zh et al Carbon 203 842 (2023)
  19. Wang Zh, Li B et al Journal of Crystal Growth 624 127431 (2023)
  20. Timerkaev B A, Shakirov B R et al High Energy Chem 57 (S1) S50 (2023)
  21. Emelyanov A A, Pinaev V A et al Thermophys. Aeromech. 30 (3) 393 (2023)
  22. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al Dokl. Phys. 67 (7) 197 (2022)
  23. Timerkaev B A, Gevorgyan R K et al J Eng Phys Thermophy 95 (5) 1201 (2022)
  24. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 (20) 205202 (2022)
  25. Zhdanov V, Smirnov P et al Heliyon 8 (11) e11519 (2022)
  26. Iqbal S, Rafique M Sh et al Mater. Innov. 2 (8) 214 (2022)
  27. Yudin I B, Emelyanov A A et al Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 30 (1) 126 (2022)
  28. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J Appl Mech Tech Phy 63 (3) 418 (2022)
  29. Khelef N, Khelfaoui F, Babahani O J. Eng. Appl. Sci. 69 (1) (2022)
  30. Yang Ch, Mi Zh et al SSRN Journal (2022)
  31. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Interfac Phenom Heat Transfer 10 (2) 31 (2022)
  32. Plotnikov M Yu, Shkarupa E V Computers & Fluids 214 104775 (2021)
  33. Fedoseeva Yu V, Gorodetskiy D V et al Materials 13 (1) 219 (2020)
  34. Tsai A, Aghajamali A et al ACS Appl. Electron. Mater. 2 (7) 2003 (2020)
  35. Wang X, Liu X Inorg. Chem. Front. 7 (16) 2890 (2020)
  36. Han X, Duan P et al Materials 13 (20) 4510 (2020)
  37. Chernykh S V, Chernykh A V et al Physica Status Solidi (a) 217 (8) (2020)
  38. Rebrov A K, Emelyanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 61 (5) 819 (2020)
  39. Gorbachev Yu E, Leshchev D V Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 28 (4) 277 (2020)
  40. Nida S, Tsibizov A et al J Synchrotron Rad 26 (1) 28 (2019)
  41. Poklonski N A, Vyrko S A et al Mater. Res. Express 6 (4) 042002 (2019)
  42. Emel’yanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B Tech. Phys. 64 (12) 1796 (2019)
  43. (PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019) Vol. PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019Transformations of kimberlite minerals and natural diamonds structure as the result of pulsed electromagnetic irradiationN. E.AnashkinaI. Zh.Bunin2167 (2019) p. 020017
  44. Zheligovskaya E A, Bulienkov N A, Blaut-Blachev A N Crystallogr. Rep. 64 (6) 867 (2019)
  45. Gorbachev Yu E, Leshchev D V et al J. Phys.: Conf. Ser. 1382 (1) 012152 (2019)
  46. Iqbal S, Rafique Muhammad Shahid et al Materials Science in Semiconductor Processing 74 31 (2018)
  47. Rodionov N B, Pal’ A F et al J. Commun. Technol. Electron. 63 (7) 828 (2018)
  48. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B J. Phys.: Conf. Ser. 1105 012120 (2018)
  49. Khomich A A, Dzeraviaha A N et al J. Phys.: Conf. Ser. 1135 012019 (2018)
  50. Rebrov A, Plotnikov M et al Physics of Fluids 30 (1) (2018)
  51. Amosov V N, Babichev V N et al Tech. Phys. Lett. 44 (8) 697 (2018)
  52. Prut V V Tech. Phys. 62 (5) 720 (2017)
  53. Rebrov A K, Andreev M N et al Surface and Coatings Technology 325 210 (2017)
  54. Xie X, Wang X et al J Mater Sci: Mater Electron 28 (13) 9813 (2017)
  55. Rebrov A K Успехи физических наук 187 (2) 193 (2017) [Rebrov A K Phys.-Usp. 60 (2) 179 (2017)]
  56. Wellmann P J Zeitschrift anorg allge chemie 643 (21) 1312 (2017)
  57. Bunin I Zh, Chanturiya V A et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 81 (3) 368 (2017)
  58. Boehler R, Molaison J J, Haberl B Review of Scientific Instruments 88 (8) (2017)
  59. Ekimov E A, Kondrin M V Успехи физических наук 187 (06) 577 (2017) [Ekimov E A, Kondrin M V Phys.-Usp. 60 (6) 539 (2017)]
  60. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 58 (5) 881 (2017)
  61. Muchnikov A B, Radishev D B et al Journal of Crystal Growth 442 62 (2016)
  62. Poklonski N A, Vyrko S A et al Journal of Applied Physics 119 (24) (2016)
  63. Bulienkov N A, Zheligovskaya E A, Blaut-Blachev A N Nanotechnol Russia 11 (7-8) 377 (2016)
  64. Chanturia V A, Bunin I Zh et al J Min Sci 52 (2) 332 (2016)
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение