RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2025
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

Февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Текст pdf (1,6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143
Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия
PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/
000353946800002
2-s2.0-84928982423
2015PhyU...58..134K
Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, 24 июня 2014

English citation: Khmelnitskiy R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143

Список литературы (132) Статьи, ссылающиеся на эту (61) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Zhang D, Chen T et al Applied Surface Science 702 163318 (2025)
  2. Khmelnitsky R A, Rodionov N B et al Успехи физических наук 195 (01) 3 (2025) [Khmelnitsky R A, Rodionov N B et al Phys. Usp. 68 (01) 3 (2025)]
  3. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Interfac Phenom Heat Transfer 13 (1) 45 (2025)
  4. Chang X, Gao W et al Functional Diamond 5 (1) (2025)
  5. Wang G, Chen X et al Technologies 13 (5) 172 (2025)
  6. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Thermophys. Aeromech. 31 (6) 1153 (2025)
  7. L’vov P E, Bulyarskiy S V et al Diamond and Related Materials 159 112846 (2025)
  8. Li H, Zhang Zh et al Diamond and Related Materials 158 112709 (2025)
  9. Zhang D, Shen W et al J Mater Sci 60 (35) 15643 (2025)
  10. Shiryaev A A Успехи физических наук 194 (06) 600 (2024) [Shiryaev A A Phys. Usp. 67 (06) 561 (2024)]
  11. Sedov V, Wei Ju, Ralchenko V Topics in Applied Physics Vol. Novel Aspects of Diamond IIPolycrystalline Diamond: Recent Advances in CVD Synthesis and Applications149 Chapter 5 (2024) p. 101
  12. (2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation Engineering) Vol. 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation EngineeringRelaxation processes during gas-jet deposition of diamond structures from a cloud of microwave-activated gasI. B.YudinM. Yu.PlotnikovA. K.Rebrov3050 (2024) p. 080006
  13. Ku Ya, Huang W et al Carbon Energy 6 (7) (2024)
  14. Yang Ch, Mi Zh et al Carbon 203 842 (2023)
  15. Wang Zh, Li B et al Journal of Crystal Growth 624 127431 (2023)
  16. Emelyanov A A, Pinaev V A et al Thermophys. Aeromech. 30 (3) 393 (2023)
  17. Emelyanov A A, Plotnilkov M Yu et al J Appl Mech Tech Phy 64 (5) 748 (2023)
  18. Timerkaev B A, Shakirov B R et al High Energy Chem 57 (S1) S50 (2023)
  19. Zhdanov V, Smirnov P et al Heliyon 8 (11) e11519 (2022)
  20. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Interfac Phenom Heat Transfer 10 (2) 31 (2022)
  21. Yang Ch, Mi Zh et al SSRN Journal (2022)
  22. Timerkaev B A, Gevorgyan R K et al J Eng Phys Thermophy 95 (5) 1201 (2022)
  23. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J Appl Mech Tech Phy 63 (3) 418 (2022)
  24. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 (20) 205202 (2022)
  25. Yudin I B, Emelyanov A A et al Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 30 (1) 126 (2022)
  26. Khelef N, Khelfaoui F, Babahani O J. Eng. Appl. Sci. 69 (1) (2022)
  27. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al Dokl. Phys. 67 (7) 197 (2022)
  28. Iqbal S, Rafique M Sh et al Mater. Innov. 2 (8) 214 (2022)
  29. Plotnikov M Yu, Shkarupa E V Computers & Fluids 214 104775 (2021)
  30. Wang X, Liu X Inorg. Chem. Front. 7 (16) 2890 (2020)
  31. Rebrov A K, Emelyanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 61 (5) 819 (2020)
  32. Chernykh S V, Chernykh A V et al Physica Status Solidi (a) 217 (8) (2020)
  33. Fedoseeva Yu V, Gorodetskiy D V et al Materials 13 (1) 219 (2020)
  34. Gorbachev Yu E, Leshchev D V Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 28 (4) 277 (2020)
  35. Tsai A, Aghajamali A et al ACS Appl. Electron. Mater. 2 (7) 2003 (2020)
  36. Han X, Duan P et al Materials 13 (20) 4510 (2020)
  37. Emel’yanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B Tech. Phys. 64 (12) 1796 (2019)
  38. (PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019) Vol. PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019Transformations of kimberlite minerals and natural diamonds structure as the result of pulsed electromagnetic irradiationN. E.AnashkinaI. Zh.Bunin2167 (2019) p. 020017
  39. Zheligovskaya E A, Bulienkov N A, Blaut-Blachev A N Crystallogr. Rep. 64 (6) 867 (2019)
  40. Nida S, Tsibizov A et al J Synchrotron Rad 26 (1) 28 (2019)
  41. Gorbachev Yu E, Leshchev D V et al J. Phys.: Conf. Ser. 1382 (1) 012152 (2019)
  42. Poklonski N A, Vyrko S A et al Mater. Res. Express 6 (4) 042002 (2019)
  43. Iqbal S, Rafique Muhammad Shahid et al Materials Science in Semiconductor Processing 74 31 (2018)
  44. Rodionov N B, Pal’ A F et al J. Commun. Technol. Electron. 63 (7) 828 (2018)
  45. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B J. Phys.: Conf. Ser. 1105 012120 (2018)
  46. Khomich A A, Dzeraviaha A N et al J. Phys.: Conf. Ser. 1135 012019 (2018)
  47. Rebrov A, Plotnikov M et al Physics of Fluids 30 (1) (2018)
  48. Amosov V N, Babichev V N et al Tech. Phys. Lett. 44 (8) 697 (2018)
  49. Prut V V Tech. Phys. 62 (5) 720 (2017)
  50. Rebrov A K, Andreev M N et al Surface and Coatings Technology 325 210 (2017)
  51. Xie X, Wang X et al J Mater Sci: Mater Electron 28 (13) 9813 (2017)
  52. Wellmann P J Zeitschrift anorg allge chemie 643 (21) 1312 (2017)
  53. Rebrov A K Успехи физических наук 187 (2) 193 (2017) [Rebrov A K Phys.-Usp. 60 (2) 179 (2017)]
  54. Bunin I Zh, Chanturiya V A et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 81 (3) 368 (2017)
  55. Boehler R, Molaison J J, Haberl B Review of Scientific Instruments 88 (8) (2017)
  56. Ekimov E A, Kondrin M V Успехи физических наук 187 (06) 577 (2017) [Ekimov E A, Kondrin M V Phys.-Usp. 60 (6) 539 (2017)]
  57. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 58 (5) 881 (2017)
  58. Muchnikov A B, Radishev D B et al Journal of Crystal Growth 442 62 (2016)
  59. Poklonski N A, Vyrko S A et al Journal of Applied Physics 119 (24) (2016)
  60. Bulienkov N A, Zheligovskaya E A, Blaut-Blachev A N Nanotechnol Russia 11 (7-8) 377 (2016)
  61. Chanturia V A, Bunin I Zh et al J Min Sci 52 (2) 332 (2016)
© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение