RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

Февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Текст pdf (1,6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143
Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия
PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/
000353946800002
2-s2.0-84928982423
2015PhyU...58..134K
Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, 24 июня 2014

English citation: Khmelnitskii R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143

Список литературы (132) Статьи, ссылающиеся на эту (49) ↓ Похожие статьи (20)

  1. (2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation Engineering) Vol. 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED EARTH SCIENCE AND FOUNDATION ENGINEERING (ICASF 2023): Advanced Earth Science and Foundation EngineeringRelaxation processes during gas-jet deposition of diamond structures from a cloud of microwave-activated gasI. B.YudinM. Yu.PlotnikovA. K.Rebrov3050 (2024) p. 080006
  2. Yang Ch, Mi Zh et al Carbon 203 842 (2023)
  3. Timerkaev B A, Shakirov B R et al High Energy Chem 57 S50 (2023)
  4. Emelyanov A A, Pinaev V A et al Thermophys. Aeromech. 30 393 (2023)
  5. Emelyanov A A, Plotnilkov M Yu et al J Appl Mech Tech Phy 64 748 (2023)
  6. Wang Zh, Li B et al Journal of Crystal Growth 624 127431 (2023)
  7. Yudin I B, Emelyanov A A et al Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 30 126 (2022)
  8. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J. Phys. D: Appl. Phys. 55 205202 (2022)
  9. Zhdanov V, Smirnov P et al Heliyon 8 e11519 (2022)
  10. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al Dokl. Phys. 67 197 (2022)
  11. Khelef N, Khelfaoui F, Babahani O J. Eng. Appl. Sci. 69 (1) (2022)
  12. Yang Ch, Mi Zh et al SSRN Journal (2022)
  13. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu et al Interfac Phenom Heat Transfer 10 31 (2022)
  14. Emelyanov A A, Pinaev V A et al J Appl Mech Tech Phy 63 418 (2022)
  15. Timerkaev B A, Gevorgyan R K et al J Eng Phys Thermophy 95 1201 (2022)
  16. Iqbal S, Rafique M Sh et al Mater. Innov. 2 214 (2022)
  17. Plotnikov M Yu, Shkarupa E V Computers & Fluids 214 104775 (2021)
  18. Wang X, Liu X Inorg. Chem. Front. 7 2890 (2020)
  19. Gorbachev Yu E, Leshchev D V Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 28 277 (2020)
  20. Chernykh S V, Chernykh A V et al Physica Status Solidi (a) 217 (8) (2020)
  21. Fedoseeva Yu V, Gorodetskiy D V et al Materials 13 219 (2020)
  22. Rebrov A K, Emelyanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 61 819 (2020)
  23. Tsai A, Aghajamali A et al ACS Appl. Electron. Mater. 2 2003 (2020)
  24. Han X, Duan P et al Materials 13 4510 (2020)
  25. Poklonski N A, Vyrko S A et al Mater. Res. Express 6 042002 (2019)
  26. (PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019) Vol. PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019Transformations of kimberlite minerals and natural diamonds structure as the result of pulsed electromagnetic irradiationN. E.AnashkinaI. Zh.Bunin2167 (2019) p. 020017
  27. Nida S, Tsibizov A et al J Synchrotron Rad 26 28 (2019)
  28. Zheligovskaya E A, Bulienkov N A, Blaut-Blachev A N Crystallogr. Rep. 64 867 (2019)
  29. Gorbachev Yu E, Leshchev D V et al J. Phys.: Conf. Ser. 1382 012152 (2019)
  30. Emel’yanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B Tech. Phys. 64 1796 (2019)
  31. Emelyanov A A, Plotnikov M Yu, Yudin I B J. Phys.: Conf. Ser. 1105 012120 (2018)
  32. Amosov V N, Babichev V N et al Tech. Phys. Lett. 44 697 (2018)
  33. Rebrov A, Plotnikov M et al 30 (1) (2018)
  34. Rodionov N B, Pal’ A F et al J. Commun. Technol. Electron. 63 828 (2018)
  35. Khomich A A, Dzeraviaha A N et al J. Phys.: Conf. Ser. 1135 012019 (2018)
  36. Iqbal S, Rafique Muhammad Shahid et al Materials Science in Semiconductor Processing 74 31 (2018)
  37. Rebrov A K, Andreev M N et al Surface and Coatings Technology 325 210 (2017)
  38. Wellmann P J Zeitschrift anorg allge chemie 643 1312 (2017)
  39. Xie X, Wang X et al J Mater Sci: Mater Electron 28 9813 (2017)
  40. Bunin I Zh, Chanturiya V A et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 81 368 (2017)
  41. Prut V V Tech. Phys. 62 720 (2017)
  42. Boehler R, Molaison J J, Haberl B 88 (8) (2017)
  43. Rebrov A K, Emel’yanov A A et al J Appl Mech Tech Phy 58 881 (2017)
  44. Ekimov E A, Kondrin M V Успехи физических наук 187 577 (2017)
  45. Rebrov A K Успехи физических наук 187 193 (2017)
  46. Muchnikov A B, Radishev D B et al Journal of Crystal Growth 442 62 (2016)
  47. Poklonski N A, Vyrko S A et al 119 (24) (2016)
  48. Bulienkov N A, Zheligovskaya E A, Blaut-Blachev A N Nanotechnol Russia 11 377 (2016)
  49. Chanturia V A, Bunin I Zh et al J Min Sci 52 332 (2016)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение