Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.

Ключевые слова: монокристаллический алмаз, парофазное химическое осаждение, эпитаксия PACS: 68.55.A−, 81.05.ug, 81.10.−h, 82.33.Ya (все) DOI: 10.3367/UFNr.0185.201502b.0143 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/ 000353946800002 2-s2.0-84928982423 2015PhyU...58..134K Цитата: Хмельницкий Р А "Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера" УФН 185 143–159 (2015) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера AU Хмельницкий, Р. А. PB Успехи физических наук PY 2015 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 185 IS 2 SP 143-159 UR https://ufn.ru/ru/articles/2015/2/b/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0185.201502b.0143 Поступила: 16 апреля 2014, доработана: 18 июня 2014, одобрена в печать: 24 июня 2014 English citation: Khmelnitskii R A “Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds” Phys. Usp. 58 134–149 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143