Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и применения наномеханических резонаторов в составе наноэлектромеханических и оптомеханических систем для высокочувствительного детектирования и визуализации структуры материалов. Описаны методы изготовления и измерения параметров резонаторов нанометровых размеров и их характеристики. Обсуждаются квантовые свойства наномеханических резонаторов. Описаны схемы динамического охлаждения оптомеханических и наноэлектромеханических систем, направленные на снижение флуктуаций с целью повышения пороговой чувствительности этих устройств.

PACS: 61.46.−w, 62.25.−g, 81.07.−b, 81.07.Oj (все) DOI: 10.3367/UFNr.0182.201204c.0407 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/4/c/ 000306528000003 2012PhyU...55..382G Цитата: Гринберг Я С, Пашкин Ю А, Ильичёв Е В "Наномеханические резонаторы" УФН 182 407–436 (2012) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS) MedlineRefWorks Русский English PT Journal Article TI Nanomechanical resonators AU Greenberg Ya S FAU Greenberg YS AU Pashkin Yu A FAU Pashkin YA AU Il’ichev E FAU Il’ichev E DP 10 Apr, 2012 TA Usp. Fiz. Nauk VI 182 IP 4 PG 407-436 RX 10.3367/UFNr.0182.201204c.0407 URL https://ufn.ru/ru/articles/2012/4/c/ SO Usp. Fiz. Nauk 2012 Apr 10;182(4):407-436 Поступила: 21 мая 2011, доработана: 4 ноября 2011, одобрена в печать: 16 ноября 2011 English citation: Greenberg Ya S, Pashkin Yu A, Il’ichev E “Nanomechanical resonators” Phys. Usp. 55 382–407 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201204c.0407