Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов
А.Д. Погребняка,б,
А.Г. Пономарева,
А.П. Шпакв,
Ю.А. Куницкийв аСумский государственный университет, Сумы, Украина бСумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина вИнститут металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина
Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.
RT Journal
T1 Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов
A1 Погребняк,А.Д.
A1 Пономарев,А.Г.
A1 Шпак,А.П.
A1 Куницкий,Ю.А.
PB Успехи физических наук
PY 2012
FD 10 Mar, 2012
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 182
IS 3
SP 287-321
DO 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
LK https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011