Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов

А.Д. Погребняк^а, б, А.Г. Пономарев^а, А.П. Шпак^в, Ю.А. Куницкий^в
^аСумский государственный университет, Сумы, Украина
^бСумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина
^вИнститут металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина

Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

Текст pdf (4,1 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287

PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
Web of Science

000305464600003
Scopus

2-s2.0-84863474680
ADS NASA

2012PhyU...55..270P
Цитата: Погребняк А Д, Пономарев А Г, Шпак А П, Куницкий Ю А "Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов" УФН 182 287–321 (2012)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects
A1 Pogrebnjak,A.D.
A1 Ponomarev,A.G.
A1 Shpak,A.P.
A1 Kunitskii,Yu.A.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2012
FD 10 Mar, 2012
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 182
IS 3
SP 287-321
DO 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
LK https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/

Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011

English citation: Pogrebnjak A D, Ponomarev A G, Shpak A P, Kunitskii Yu A “Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects” Phys. Usp. 55 270–300 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287