Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов

А.Д. Погребняк^а, б, А.Г. Пономарев^а, А.П. Шпак^в, Ю.А. Куницкий^в
^аСумский государственный университет, Сумы, Украина
^бСумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина
^вИнститут металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина

Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

Текст pdf (4,1 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287

PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
Web of Science

000305464600003
Scopus

2-s2.0-84863474680
ADS NASA

2012PhyU...55..270P
Цитата: Погребняк А Д, Пономарев А Г, Шпак А П, Куницкий Ю А "Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов" УФН 182 287–321 (2012)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов
AU Погребняк, А. Д.
AU Пономарев, А. Г.
AU Шпак, А. П.
AU Куницкий, Ю. А.
PB Успехи физических наук
PY 2012
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 182
IS 3
SP 287-321
UR https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0182.201203d.0287

Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011

English citation: Pogrebnjak A D, Ponomarev A G, Shpak A P, Kunitskii Yu A “Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects” Phys. Usp. 55 270–300 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287