RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2012

 / 

Март

←  →

Приборы и методы исследований


Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов

 а, б,  а,  в,  в
а Сумский государственный университет, Сумы, Украина
б Сумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина
в Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина

Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

Текст pdf (4,1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287
PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
000305464600003
2-s2.0-84863474680
2012PhyU...55..270P
Цитата: Погребняк А Д, Пономарев А Г, Шпак А П, Куницкий Ю А "Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов" УФН 182 287–321 (2012)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, 28 апреля 2011

English citation: Pogrebnjak A D, Ponomarev A G, Shpak A P, Kunitskii Yu A “Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects” Phys. Usp. 55 270–300 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287

Список литературы (217) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (67) Похожие статьи (18)

  1. Vijayakumar M et al. Def. Sci. J. 39 (1) 13 (1989)
  2. Еловиков С С Соросовский образовательный журн. (2) 82 (2001)
  3. Cadel E, Fraczkiewicz A, Blavette D Annu. Rev. Mater. Res. 33 215 (2003)
  4. Chisholm M F, Pennycook S J Philos. Mag. 86 4699 (2006)
  5. Черепин В Т Ионный микрозондовый анализ (К.: Наук. думка, 1992)
  6. Reyntjens S, Puers R J. Micromech. Microeng. 11 287 (2001)
  7. Watt F, Grime G W (Eds) Principles and Applications of High-Energy Microbeams (Bristol: A. Hilger, 1987)
  8. Maggiore C J Scanning Electron Microsc. 1 419 (1980)
  9. Breese M B H, Jamieson D N, King P J C Materials Analysis using a Nuclear Microprobe (New York: John Wiley, 1996)
  10. Shibata H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 321 (2007)
  11. Raepsaet C et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2245 (2009)
  12. Takai M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 113 330 (1996)
  13. Sie S H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 592 (1997)
  14. Przybylowicz W J et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 335 (1997)
  15. Vis R D The Proton Microprobe: Applications in Biomedical Field (Boca Raton, Fla.: CRC Press, 1985)
  16. Moretto Ph, Llabador Y Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 324 (1997)
  17. Llabador Y, Moretto Ph Applications of Nuclear Microprobes in the Life Sciences: An Efficient Analytical Technique for Research in Biology and Medicine (Singapore: World Scientific, 1998)
  18. Demortier G Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 113 347 (1996)
  19. Malmqvist K G Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 113 336 (1996)
  20. Kert&уacute;sz Zs et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2236 (2009)
  21. Meijer J et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 161-163 898 (2000)
  22. Röcken H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 181 274 (2001)
  23. Watt F et al. Int. J. Nanosci. 4 269 (2005)
  24. Пономарев А Г Вiсн. СумДУ Фiз., мат., мех. (2) 46 (2008)
  25. Watt F et al. Mater. Today 10 (6) 20 (2007)
  26. Ziegler J F, Ziegler M D, Biersack J P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 1818 (2010); SRIM — The stopping and range of ionsmatter, http://www.SRIM.org/
  27. Teo E J et al. Proc. SPIE 5347 264 (2004)
  28. Legge G J F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 9 (1997)
  29. Вальтер А К (Ред.) Электростатические ускорители заряженных частиц (М.: Госатомиздат, 1963)
  30. Teo E J et al. J. Vac. Sci. Technol. B 22 560 (2004)
  31. Udalagama C N B et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 390 (2007)
  32. Schroeder J B, Howell C W, Norton G A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 24-25 763 (1987)
  33. Ferry J A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 328 28 (1993)
  34. Гольдин Л Л Физика ускорителей (М.: Наука, 1983)
  35. Mous D J W et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 31 (1997)
  36. Mordyk S M et al. Rev. Sci. Instrum. 75 1922 (2004)
  37. Mordyk S M et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 231 37 (2005)
  38. Miroshnichenko V et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 39 (2007)
  39. Adamczewski J et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 57 (1997)
  40. Kalbitzer S Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 53 (1999)
  41. Allan G L, Legge G J F, Zhu J Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 34 122 (1988)
  42. Legge G J F et al. Rev. Sci. Instrum. 67 909 (1996)
  43. Colman R A, Legge G J F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 73 561 (1993)
  44. Vis R D et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 197 179 (1982)
  45. Kurashima S et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 65 (2007)
  46. Kurashima S et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2024 (2009)
  47. Pierce T B, Peck P F, Cuff D R A Nature 211 66 (1966)
  48. Mak B W, Bird J R, Sabine T M Nature 211 738 (1966)
  49. Maggiore C J Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 191 199 (1981)
  50. Meijer J et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 99 423 (1995)
  51. Stephan A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 113 387 (1996)
  52. Hawkes P W Quadrupoles in Electron Lens Design (New York: Academic Press, 1970)
  53. Явор С Я Фокусировка заряженных частиц квадрупольными линзами (М.: Атомиздат, 1968)
  54. Дымников А Д, Явор С Я ЖТФ 33 7851 (1963)
  55. Дымников А Д и др. ЖТФ 35 3431 (1965)
  56. Cookson J A, Ferguson A T G, Pilling F D J. Radioanalytical Chem. 12 39 (1972)
  57. Рябчиков А И, Пузыревич А Г ПТЭ (5) 209 (1990)
  58. Бондаренко В Н, Гончаров А В, Колот В Я Вопр. атом. науки и техн. Ядерно-физические исслед. (4) 98 (1999)
  59. Пономарев А Г и др. Прикладная физика (2) 28 (2008)
  60. Magilin D V et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2046 (2009)
  61. Rebrov V A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 34 (2007)
  62. Ponomarev A G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 201 637 (2003)
  63. Ponomarev A G, Miroshnichenko V I, Storizhko V E Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 506 20 (2003)
  64. Matsuyama S et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 55 (2007)
  65. Grime G W, Watt F Beam Optics of Quadrupole Probe-Forming Systems (Bristol: A. Hilger, 1984)
  66. Watt F et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 210 14 (2003)
  67. Brazhnik V et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 77 29 (1993)
  68. Brazhnik V A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 104 92 (1995)
  69. Moloney G R, Jamieson D N, Legge G J F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 54 68 (1991)
  70. Dymnikov A D, Jamieson D N, Legge G J F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 104 64 (1995)
  71. Butz T, Legge G J F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 113 317 (1996)
  72. Butz T et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 161-163 323 (2000)
  73. Ryan C G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 18 (1999)
  74. Ryan C G, Jamieson D N Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 97 (1999)
  75. Breese M B H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 48 (1999)
  76. Ryan C G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 181 12 (2001)
  77. Datzmann G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 74 (1999)
  78. Glass G A et al. MRS Proc. 908 0908-OO06-01 (2006)
  79. Johansson S A E, Campbell J L, Malmqist K G (Eds) Particle-Induced X-Ray Emission Spectrometry (PIXE) (New York: Wiley, 1995)
  80. Johansson S A E, Campbell J L PIXE: a Novel Technique for Elemental Analysis (Chichester: Wiley, 1988)
  81. Johansson S A E, Campbell J L Intercomparison of PIXE Spectrometry Software Packages (IAEA-TECDOC-1342) (Vienna: IAEA, 2003)
  82. Ryan C G, van Achterbergh E, Jamieson D N Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 231 162 (2005)
  83. Ryan C G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 1 (2007)
  84. Ryan C G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 1899 (2010)
  85. Watt F et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 181 431 (2001)
  86. Barapatre N et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 2156 (2010)
  87. Andrea T et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 1884 (2010)
  88. Шипатов Э Т Обратное рассеяние быстрых ионов: теория, эксперимент, практика (Ростов-на-Дону: Изд-во Ростовского ун-та, 1988)
  89. Tesmer J R, Nastasi M (Eds) Handbook of Modern Ion Beam Materials Analysis (Pittsburgh, Pa.: Materials Research Society, 1995)
  90. Molodtsov S L, Gurbich A F, Jeynes C J. Phys. D 41 205303 (2008)
  91. Barradas N P et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 266 1338 (2008)
  92. Samlenski R et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 190 324 (2002)
  93. Llabador Y, Moretto Ph, Guegan H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 77 123 (1993)
  94. Sjöland K A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 20 (1997)
  95. Breese M B H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 264 345 (2007)
  96. Vizkelethy G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 264 (2007)
  97. Colombo E et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2181 (2009)
  98. Vizkelethy G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2185 (2009)
  99. Huddle J R et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 261 475 (2007)
  100. Rossi P et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 181 437 (2001)
  101. Mathis F et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 2078 (2010)
  102. Manfredotti C et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 136-138 1333 (1998)
  103. Жданкин В Современ. технологии автоматизации (3) 6 (2005)
  104. Schrimpf R D et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 261 1133 (2007)
  105. Fischer B E et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 245 (1999)
  106. Cholewa M et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 275 (1997)
  107. Kamiya T, Hirao T, Kobayashi Y Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 219-220 1010 (2004)
  108. Reed R A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 261 443 (2007)
  109. Vizkelethy G et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 268 2092 (2010)
  110. Barberet Ph et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2003 (2009)
  111. Khodja H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 1999 (2009)
  112. Arteaga-Marrero N et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 91 (2007)
  113. Kirkby K J et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 97 (2007)
  114. Kobayashi Y et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 210 308 (2003)
  115. Imaseki H et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 81 (2007)
  116. Konishi T et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2171 (2009)
  117. Springham S V et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 155 (1997)
  118. van Kan J A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 148 1085 (1999)
  119. Watt F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 158 165 (1999)
  120. van Kan J A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 161-163 366 (2000)
  121. Chiam C Y et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 455 (2007)
  122. van Kan J A, Bettiol A A, Watt F Appl. Phys. Lett. 83 1629 (2003)
  123. van Kan J A, Bettiol A A, Watt F Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 181 258 (2001)
  124. Menzel F et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 231 372 (2005)
  125. Rajta I et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2292 (2009)
  126. van Kan J A et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 260 460 (2007)
  127. van Kan J A, Bettiol A A, Watt F Nano Lett. 6 579 (2006)
  128. Furuta Y et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267 2285 (2009)
  129. Ansari K et al. Appl. Phys. Lett. 85 476 (2004)
  130. Ansari K et al. J. Micromech. Microeng. 16 1967 (2006)
  131. van Kan J A et al. Int. J. Nanotechnol. 1 464 (2004)
  132. Sum T C et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 210 266 (2003)
  133. Krause-Rehberg R, Leipner H S Positron Annihilation in Semiconductors: Defect Studies (Berlin: Springer-Verlag, 1999)
  134. Triftshäuser W Microscopic Methods in Metals (Ed. U Gonser) (Berlin: Springer-Verlag, 1986) p. 249
  135. Pogrebnjak A D, Beresnev V M Nanocoatings, Nanosystems and Nanotechnologies (Ed. A Pogrebnjak) (New York: Bentham Science Publ., 2012) p. 290
  136. Vehanen A et al. Appl. Phys. A 32 163 (1983)
  137. Vehanen A et al. Positron Annihilation (Eds L Dorikens-Vanpraet, D Segers) (Singapore: Word Scientific, 1989) p. 39
  138. Vehanen A et al. Phys. Rev. B 35 4606 (1987)
  139. Brusa R S et al. Mater. Sci. Forum 105-110 1849 (1992)
  140. Bauer-Kugelman W et al. Mater. Sci. Forum 255-257 662 (1997)
  141. Beling C D et al. Appl. Phys. A 42 111 (1987)
  142. Fisher D A, Lynn K G, Gidley D W Phys. Rev. B 33 4479 (1986)
  143. Kögel G Appl. Phys. A 63 227 (1996)
  144. Kögel G et al. Phys. Rev. Lett. 60 1550 (1988)
  145. Akahane T et al. Appl. Phys. A 51 146 (1990)
  146. Valkealahti S, Niemien R M Appl. Phys. A 32 95 (1983)
  147. Valkealahti S, Niemien R M Appl. Phys. A 35 51 (1984)
  148. Ghosh V J Appl. Surf. Sci. 85 187 (1995)
  149. Махов А Ф ФТТ 2 2164 (1960); Makhov A F Sov. Phys. Solid State 2 1934 (1961)
  150. Ghosh V J, Aers G C Phys. Rev. B 51 45 (1995)
  151. Gebauer J, Krause-Rehberg R Mater. Sci. Forum 255-257 204 (1997)
  152. Schultz P J, Lynn K G Rev. Mod. Phys. 60 701 (1988)
  153. Schödlbauer D et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 34 258 (1988)
  154. Suzuki R et al. Jpn. J. Appl. Phys. 30 L532 (1991)
  155. Willutzki P et al. Meas. Sci. Technol. 5 548 (1994)
  156. Coleman P G, Baker J A, Chilton N B Mater. Sci. Forum 105-110 213 (1992)
  157. Mills A P J, Gullikson E M Appl. Phys. Lett. 49 1121 (1986)
  158. Bauer-Kugelmann W et al. Appl. Surf. Sci. 116 231 (1997)
  159. Duffy J A et al. Appl. Surf. Sci. 116 241 (1997)
  160. Pensl G, Helbig R Adv. Solid State Phys. 30 133 (1990)
  161. Muehlhoff L et al. J. Appl. Phys. 60 2842 (1986)
  162. Sonntag H, Kalbitzer S Appl. Phys. A 61 363 (1995)
  163. Brauer G et al. Phys. Rev. B 54 3084 (1996)
  164. Uhlmann K et al. Analyt. Chem. 353 594 (1995)
  165. Zecca A et al. Europhys. Lett. 29 617 (1995)
  166. Triftshäuser W et al. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 130 264 (1997)
  167. Triftshäuser G et al. Appl. Surf. Sci. 116 45 (1997)
  168. Uhlmann K, Britton D T, Kögel G Meas. Sci. Technol. 6 932 (1995)
  169. Uhlmann K, Britton D T, Kögel G Optik 98 5 (1994)
  170. Canter K F et al. Atomic Physics with Positrons (Eds J W Humberston, E A G Armour) (New York: Plenum Press, 1987) p. 153
  171. Triftshäuser W Proc. of the Intern. Workshop on Advanced Techniques of Positron Beam Generation and Control, JAERI, Japan, 1998 p. 57
  172. Pogrebnjak A D et al. Phys. Lett. A 265 225 (2000)
  173. Pogrebnjak A D et al. Phys. Lett. A 241 357 (1998)
  174. Погребняк А Д и др. УФН 179 35 (2009); Pogrebnjak A D et al. Phys. Usp. 52 29 (2009)
  175. Гордиенко Ю Е, Слипченко Н И, Петров В В Радиоэлектроника и информатика (3) 19 (2007)
  176. Слипченко Н I "Фiзичнi основи ближньопольовоï НВЧ дiагностики матерiалiв i середовищ" Автореф. дисс. ... докт. физ.-мат. наук (Суми, 2008)
  177. Гордиенко Ю Е и др. "Алгоритм реконструкции изображений в ближнеполевой сканирующей микроскопии" Радиотехника Всеукр. Межвед. научн.-техн. сб. (2003) с. 135
  178. Гордиенко Ю Г и др. 3-я Мiжнарод. науково-технiчна конф. "Сенсорна електронiка та мiкросистемнi технологii", Украна, Одесса, 2-6 червня 2008 с. 156
  179. Рябухiн О О, Гордiнко Ю О, Слiпченко Н I "Iнтегральний мiкрополозковий резонаторний зонд мiкрохвильового мiкроскопа" Декл. Патент №71456А вiд 15.11.2004
  180. Ash E A, Nicholls G Nature 237 510 (1972)
  181. Bryant C A, Gunn J B Rev. Sci. Instrum. 36 1614 (1965)
  182. Fee M, Chu S, Hansch T W Opt. Commun. 69 219 (1989)
  183. Wei T et al. Appl. Phys. Lett. 68 3506 (1996)
  184. Golosovsky M, Davidov D Appl. Phys. Lett. 68 1579 (1996)
  185. Vlahacos C P et al. Appl. Phys. Lett. 69 3272 (1996)
  186. Booth J C et al. Rev. Sci. Instrum. 65 2082 (1994)
  187. Steinhauer D E et al. Appl. Phys. Lett. 71 1736 (1997)
  188. Anlage S M et al. IEEE Trans. Appl. Supercond. 7 3686 (1997)
  189. Stranick S J, Weiss P S Rev. Sci. Instrum. 64 1232 (1993)
  190. Stranick S J, Weiss P S Rev. Sci. Instrum. 65 918 (1994)
  191. Van der Weide D W, Neuzil P J. Vac. Sci. Technol. B 14 4144 (1996)
  192. Steinhauer D E et al. Appl. Phys. Lett. 72 861 (1998)
  193. Vlahacos C P et al. Appl. Phys. Lett. 72 1778 (1998)
  194. Feenstra B J et al. IEEE MTT-S Int. Microwave Symp. Digest 965 (1998)
  195. Погребняк А Д, Тюрин Ю Н УФН 175 515 (2005); Pogrebnjak A D, Tyurin Yu N Phys. Usp. 48 487 (2005)
  196. Бойко В И, Валяев А Н, Погребняк А Д УФН 169 1243 (1999); Boiko V I, Valyaev A N, Pogrebnyak A D Phys. Usp. 42 1139 (1999)
  197. Погребняк А Д и др. Структура и свойства нанокомпозитных гибридных и полимерных покрытий (М.: УРСС, 2011)
  198. Графутин В И, Прокопьев Е П УФН 172 67 (2002); Grafutin V I, Prokop'ev E P Phys. Usp. 45 59 (2002)
  199. Лаврентьев В И, Погребняк А Д, Шандрик Р Письма в ЖЭТФ 65 618 (1997); Lavrent'ev V I, Pogrebnyak A D, Sandrik R JETP Lett. 65 651 (1997)
  200. Pogrebnjak A D, Shpak A P, Beresnev V M New Nanotechniqies (Eds A Malik, R J Rawat) (New York: Nova Science Publ., 2009) p. 687
  201. Haaks M CIRP Ann. Manufact. Technol. 57 537 (2008)
  202. Лаврентьев В И и др. Письма в ЖТФ 24 (9) 13 (1998); Lavrent'ev V I et al. Tech. Phys. Lett. 24 334 (1998)
  203. Лаврентьев В И, Погребняк А Д, Шандрик Р Письма в ЖЭТФ 24 91 (1997); Lavrent'ev V I, Pogrebnyak A D, Sandririk R JETP Lett. 65 91 (1997)
  204. Шпак А Д, Куницкий Ю А, Карбовский В Л Кластерные и наноструктурные материалы (К.: Академпериодика, 2001)
  205. Шпак А Д, Куницкий Ю А, Смик С Ю Диагностика наносистем (К.: Академпериодика, 2003), Гл. 1,2
  206. Гомза Ю П и др. Наносист. наноматер. нанотехнол. 7 (2) 411 (2009)
  207. Азаренков Н А и др. Физическая инженерия поверхности 3 (1 - 2) 127 (2005)
  208. Горбачев Л А, Погребняк А Д Металлофиз. и новейшие технол. 32 (1) 121 (2010)
  209. Cherenda N et al. Plasma Proces. Polymers 6 178 (2009)
  210. Погребняк А Д и др. Письма в ЖТФ 35 (19) 103 (2009); Pogrebnyak A D et al. Tech. Phys. Lett. 35 925 (2009)
  211. Погребняк А Д и др. Изв. вузов. Физика (12) 61 (2009); Pogrebnyak A D et al. Russ. Phys. J. 52 1317 (2009)
  212. Волопилкин Е А, Парафин А Е, Резник А Н ЖТФ 70 (2) 74 (2000); Volopilkin E A, ParafA E, Reznik A N Tech. Phys. 45 214 (2000)
  213. Семенов А А и др. ЖТФ 71 (10) 13 (2001); Semenov A A et al. Tech. Phys. 46 1218 (2001)
  214. Резник А Н, Юраcова Н В ЖТФ 74 (4) 108 (2004); Peznik A N, Yurasova N V Tech. Phys. 49 485 (2004)
  215. Tabib-Arat M, Katz J V, LeClair S R IEEE Trans. Instrum. Meas. 48 1111 (1999)
  216. Steinhauer D E, Anlage S M J. Appl. Phys. 89 2314 (2001)
  217. Lee S-C, Anlage S M Appl. Phys. Lett. 82 1893 (2003)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение