Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов
А.Д. Погребняка,б,
А.Г. Пономарева,
А.П. Шпакв,
Ю.А. Куницкийв аСумский государственный университет, Сумы, Украина бСумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина вИнститут металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина
Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.
@article{Pogrebnjak:2012,author = {A. D. Pogrebnjak and A. G. Ponomarev and A. P. Shpak and Yu. A. Kunitskii},title = {Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects},publisher = {Uspekhi Fizicheskikh Nauk},year = {2012},journal = {Usp. Fiz. Nauk},volume = {182},number = {3},pages = {287-321},url = {https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/},doi = {10.3367/UFNr.0182.201203d.0287}}
Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011