Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-z (все) DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/ 000305464600003 2-s2.0-84863474680 2012PhyU...55..270P Цитата: Погребняк А Д, Пономарев А Г, Шпак А П, Куницкий Ю А "Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов" УФН 182 287–321 (2012) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011 English citation: Pogrebnjak A D, Ponomarev A G, Shpak A P, Kunitskii Yu A “Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects” Phys. Usp. 55 270–300 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287