Выпуски

 / 

2008

 / 

Февраль

  

Обзоры актуальных проблем


Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния

 а, б,  б
а Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
б Quantum-Phase Electronics Center, Department of Applied Physics, The University of Tokyo and Japan Science and Technology Agency, CREST, 7-3-1 Hongo, Tokyo, 113-8656, Japan

В обзоре анализируются результаты исследования поверхностных процессов образования наноструктур германия и кремния. Рассмотрены закономерности зарождения трехмерных островков и релаксации напряженного двумерного слоя при гетероэпитаксии германия на кремнии, которые вызывают самопроизвольный рост островков. Окисление поверхности кремния перед осаждением германия или кремния кардинально изменяет механизм роста и приводит к созданию островков с предельно высокой плотностью 1012-1013 и размерами менее 10 нм. Их свойства определяются эффектами пространственного квантования. Массивы этих островков, в свою очередь, образуют уникальную поверхность для роста на ней слоев кремния, способных излучать фотоны с длиной волны 1,5-1,6 мкм.

Текст pdf (4,9 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344
PACS: 78.55.Ap, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200802b.0139
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/2/b/
000256729400002
2-s2.0-45149130684
2008PhyU...51..133S
Цитата: Шкляев А А, Ичикава М "Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния" УФН 178 139–169 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Extremely dense arrays of germanium and silicon nanostructures
A1 Shklyaev,A.A.
A1 Ichikawa,M.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2008
FD 10 Feb, 2008
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 178
IS 2
SP 139-169
DO 10.3367/UFNr.0178.200802b.0139
LK https://ufn.ru/ru/articles/2008/2/b/

English citation: Shklyaev A A, Ichikawa M “Extremely dense arrays of germanium and silicon nanostructuresPhys. Usp. 51 133–161 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение