Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст pdf (339 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006322

PACS: 01.10.Fv, 81.07.−b, 81.16.−c, 81.16.Ta (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707i.0780
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/i/
Web of Science

000250847100008
Scopus

2-s2.0-35948983712
ADS NASA

2007PhyU...50..744B
Цитата: Балыкин В И "Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур" УФН 177 780–786 (2007)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Balykin:2007,
	author = {В. И. Балыкин},
	title = {Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {2007},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {177},
	number = {7},
	pages = {780-786},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/i/},
	doi = {10.3367/UFNr.0177.200707i.0780}
}

English citation: Balykin V I “Parallel fabrication of nanostructures via atom projection” Phys. Usp. 50 744–749 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006322