Рассмотрены процессы в кластерной плазме, состоящей из плотной плазмы буферного газа и примеси металла. Эти процессы с участием кластеров в газе и плазме включают в себя нуклеацию в пересыщенном паре, образование металлических кластеров из соединений металла, а также сопутствующие химические процессы, зарядку кластеров в плазме и под действием пучка электронов. Проанализированы основные методы генерации кластеров, включая их образование и рост при истечении газа или пара из сопла, при лазерном воздействии на металлические поверхности, а также рост металлических кластеров в плазме при введении в нее соединений металла. Обсуждаются прикладные аспекты кластерных пучков, связанные с изготовлением тонких пленок, новых материалов и созданием горячей неоднородной плазмы.

PACS: 36.40.Sx, 36.40.Wa, 52.50.Jm, 61.46.+w (все) DOI: 10.3367/UFNr.0173.200306b.0609 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/6/b/ 000185710500002 Цитата: Смирнов Б М "Генерация кластерных пучков" УФН 173 609–648 (2003) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks English citation: Smirnov B M “Generation of cluster beams” Phys. Usp. 46 589–628 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n06ABEH001381