Рассмотрены процессы в кластерной плазме, состоящей из плотной плазмы буферного газа и примеси металла. Эти процессы с участием кластеров в газе и плазме включают в себя нуклеацию в пересыщенном паре, образование металлических кластеров из соединений металла, а также сопутствующие химические процессы, зарядку кластеров в плазме и под действием пучка электронов. Проанализированы основные методы генерации кластеров, включая их образование и рост при истечении газа или пара из сопла, при лазерном воздействии на металлические поверхности, а также рост металлических кластеров в плазме при введении в нее соединений металла. Обсуждаются прикладные аспекты кластерных пучков, связанные с изготовлением тонких пленок, новых материалов и созданием горячей неоднородной плазмы.

PACS: 36.40.Sx, 36.40.Wa, 52.50.Jm, 61.46.+w (все) DOI: 10.3367/UFNr.0173.200306b.0609 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/6/b/ 000185710500002 Цитата: Смирнов Б М "Генерация кластерных пучков" УФН 173 609–648 (2003) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Генерация кластерных пучков A1 Смирнов,Б.М. PB Успехи физических наук PY 2003 FD 10 Jun, 2003 JF Успехи физических наук JO Усп. физ. наук VO 173 IS 6 SP 609-648 DO 10.3367/UFNr.0173.200306b.0609 LK https://ufn.ru/ru/articles/2003/6/b/ English citation: Smirnov B M “Generation of cluster beams” Phys. Usp. 46 589–628 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n06ABEH001381