Дан обзор результатов исследований неравновесного фликкер-шума (1/f ^γ-шума) в проводящих пленках различных материалов и тонкопленочных контактах. Представлены методы исследований неравновесных фликкерных флуктуаций, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум (НФШ) из полной мощности шума. Проведена систематизация опубликованных результатов по НФШ в пленках металлов и сплавов, в резисторах на основе пленок Ni/Cr и нитрида тантала Ta_xN_y и в контактах. Показано, что в проводящих пленках существуют различные виды НФШ. Наблюдаются стационарный и нестационарный НФШ, что определяется условиями испытаний, внешними воздействиями и микроструктурой пленки. Дано обоснование метода неразрушающего контроля качества тонкопленочных проводников по измерениям 1/f ^γ-шума. Для большинства пассивных компонентов интегральных микросхем (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень НФШ является наиболее информативным параметром качества по сравнению с равновесным фликкер-шумом.

PACS: 05.40.Ca, 72.70.+m, 73.50.Td, 85.40.Qx (все) DOI: 10.3367/UFNr.0173.200305a.0465 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2003/5/a/ 000185206600001 Цитата: Жигальский Г П "Неравновесный 1/f γ-шум в проводящих пленках и контактах." УФН 173 465–490 (2003) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Nonequilibrium 1/f γ noise in conducting films and contacts AU Zhigal’skii, G. P. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2003 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 173 IS 5 SP 465-490 UR https://ufn.ru/ru/articles/2003/5/a/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0173.200305a.0465 English citation: Zhigal’skii G P “Nonequilibrium 1/f γ noise in conducting films and contacts” Phys. Usp. 46 449–471 (2003); DOI: 10.1070/PU2003v046n05ABEH001244