Наличие метода, обеспечивающего возможность контролируемого создания объемного «рисунка», состоящего из областей с требуемыми физическими и химическими свойствами, является ключевым условием для радикального прогресса в технологиях XXI века. Это особенно актуально, если метод позволяет обеспечить создание таких областей с размерами вплоть до нанометровых. В нашей работе впервые предлагается способ целенаправленной прямой трансформации наиболее важных физических свойств материалов, таких как электрические, магнитные, оптические и др., за счет радикального изменения атомного состава твердых тел. Физические основы новой технологии связаны с открытым нами эффектом селективного удаления атомов из тонких пленок двух- или многоатомных соединений пучками ускоренных частиц. Возможности этого метода исследованы и подтверждены нашими многочисленными экспериментами. В частности, показано, что селективное удаление атомов определенного сорта позволяет целенаправленно переводить диэлектрики в металлы или полупроводники, немагнитные материалы — в магнитные, а также радикально изменять оптические характеристики материалов и ряд других свойств. Возможность селективного удаления атомов определенного сорта из вещества представляет большой интерес для технологий будущего, в первую очередь, связанных с потребностями как наноэлектроники, так и с множеством «нанопроблем» третьего тысячелетия.
Maissel L I, Glang R (Eds) Handbook of Thin Film Technology (New York: McGraw-Hill, 1970)
Хирш П и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов (М.: Мир, 1968)
Wiesendanger R, Güntherodt H-J (Eds) Scanning Tunneling Microscopy II: Further Applications and Related Scanning Techniques (Springer Series in Surface Sciences, 28) (Berlin: Springer, 1992)
Briggs D, Seah M P (Eds) Practical Surface Analysis: by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy (New York: Wiley, 1983)
Abrikosov A A Fundamentals of the Theory of Metals (Amsterdam: North-Holland, 1988)
Altshuler B L, Aronov A G Electron-Electron Interactions in Disordered Systems (Modern Problems in Condensed Matter Sciences, Vol. 10, Eds A L Efros, M Pollak) (Amsterdam: North-Holland, 1985)
Анненков Ю М и др. Физика и химия обработки материалов (5) 5 (1999)