Выпуски

 / 

1998

 / 

Октябрь

  

Обзоры актуальных проблем


Процессы конденсации тонких пленок

,
Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Российская Федерация

Представлено современное состояние проблемы зарождения и роста новой фазы на поверхности твердых тел в одно- и многокомпонентных системах. Исследуется кинетика образования и последующей эволюции островков новой фазы. Проанализированы модели роста пленок из пара и раствора-расплава с учетом деталей процесса: распределения островков по размерам, коалесценции, ориентации островков, морфологической устойчивости и т.п. Рассматривается изотермическое и неизотермическое оствальдовское созревание ансамблей многокомпонентных островков новой фазы, исследуются нелинейные явления при росте сплошных структур. Рассмотрена проблема управления процессом роста слоев новой фазы.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 68.35.−p, 68.18.+p, 68.15.+e, 81.15.−z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0168.199810b.1083
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1998/10/b/
Цитата: Кукушкин С А, Осипов А В "Процессы конденсации тонких пленок" УФН 168 1083–1116 (1998)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kukushkin S A, Osipov A V “Thin-film condensation processesPhys. Usp. 41 983–1014 (1998); DOI: 10.1070/PU1998v041n10ABEH000461

Список литературы (242) Статьи, ссылающиеся на эту (174) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.В. Слезов, В.В. Сагалович «Диффузионный распад твердых растворов» 151 67–104 (1987)
  2. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния» 178 139–169 (2008)
  3. Ф.М. Куни, А.К. Щекин, А.П. Гринин «Теория гетерогенной нуклеации в условиях постепенного создания метастабильного состояния пара» 171 345–385 (2001)
  4. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, С.И. Чикичев «Кремний-германиевые эпитаксиальные пленки: физические основы получения напряженных и полностью релаксированных гетероструктур» 171 689–715 (2001)
  5. Я.Е. Гегузин, Ю.С. Кагановский «Диффузионный перенос массы в островковых пленках» 125 489–525 (1978)
  6. Б.М. Смирнов «Процессы в расширяющемся и конденсирующемся газе» 164 665–703 (1994)
  7. Б.М. Смирнов «Процессы в плазме и газах с участием кластеров» 167 1169–1200 (1997)
  8. Б.М. Смирнов «Кластерная плазма» 170 495–534 (2000)
  9. Б.М. Смирнов «Скейлинг в атомной и молекулярной физике» 171 1291–1315 (2001)
  10. А.В. Латышев, А.Л. Асеев «Моноатомные ступени на поверхности кремния» 168 1117–1127 (1998)
  11. А.В. Елецкий, Б.М. Смирнов «Свойства кластерных ионов» 159 45–81 (1989)
  12. Л.А. Большов, А.П. Напартович и др. «Субмонослойные пленки на поверхности металлов» 122 125–158 (1977)
  13. Г.В. Розенберг «Современное состояние теории оптических свойств полупрозрачных металлических покрытий» 58 487–518 (1956)
  14. В.П. Крайнов, М.Б. Смирнов «Эволюция больших кластеров под действием ультракороткого сверхмощного лазерного импульса» 170 969–990 (2000)
  15. «Плазма, возникающая при взаимодействии лазерного излучения с твердыми мишенями» 163 (12) 51–83 (1993)
  16. Б.М. Смирнов «Кластеры с плотной упаковкой и заполненными оболочками» 163 (10) 29–56 (1993)
  17. Э.Л. Нагаев «Малые металлические частицы» 162 (9) 49–124 (1992)
  18. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа» 176 913–930 (2006)
  19. В.П. Скрипов, А.В. Скрипов «Спинодальный распад (Фазовый переход с участием неустойчивых состояний)» 128 193–231 (1979)
  20. И.Д. Конозенко «Физика тонких металлических и полупроводниковых слоев. Структура и электрические свойства металлов и полупроводников в тонких слоях» 52 561–602 (1954)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение