Алмаз — кристалл, характеризуемый чрезвычайно прочными межатомными связями. Для него характерны очень малые равновесные параметры растворимости примесей и их коэффициенты диффузии. В связи с этим ионная имплантация представляет собою естественную альтернативу метода легирования. Существующие экспериментальные данные показывают, что слой p-типа и p⁺-типа удается получать путем имплантации ионов бора. Имплантация ионов Li⁺ и C⁺ приводит к образованию слоев n-типа. Алмазные пленки, выращенные в присутствии фосфора и натрия, также могут обладать электронной проводимостью. Эффективность введения электрически активных центров существенно различается в зависимости от температуры алмаза во время имплантации и от режима последующего отжига.

PACS: 61.72.Ww, 68.55.Ln (все) DOI: 10.3367/UFNr.0164.199404k.0429 URL: https://ufn.ru/ru/articles/1994/4/k/ A1994NM92600012 Цитата: Вавилов В С "Возможности и ограничения ионной имплантации в алмаз и их сопоставление с другими методами введения электрически активных примесей" УФН 164 429–433 (1994) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Possibilities and limitations of ion implantation in diamond, and comparison with other doping methods AU Vavilov, V. S. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 1994 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 164 IS 4 SP 429-433 UR https://ufn.ru/ru/articles/1994/4/k/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0164.199404k.0429 English citation: Vavilov V S “Possibilities and limitations of ion implantation in diamond, and comparison with other doping methods” Phys. Usp. 37 407–411 (1994); DOI: 10.1070/PU1994v037n04ABEH000023