Технология СБИС: основы и применения

Ю.В. Гуляев^а, Ю.Л. Копылов
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Текст pdf (48 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655

PACS: 85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
Цитата: Гуляев Ю В, Копылов Ю Л "Технология СБИС: основы и применения" УФН 156 552–553 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gulyaev Yu V, Kopylov Yu L “VLSI technology: fundamentals and applications” Sov. Phys. Usp. 31 1040–1041 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655

Статьи, ссылающиеся на эту (3) Похожие статьи (20) ↓

Б.Г. Идлис «Физика и технология субмикронных структур» УФН 159 188–189 (1989)
В.С. Доценко «Спиновые стекла, оптимизация и биологические приложения» УФН 157 365–365 (1989)
В.Б. Тимофеев «Современное состояние технологии и материаловедения полупроводникового кремния» УФН 160 (6) 168–170 (1990)
Т.О. Вреден-Кобецкая «Новые книги по физике» УФН 66 148–156 (1958)
О.А. Панкратов «Двумерные системы: физика и новые приборы» УФН 152 720–721 (1987)
М.Н. Столяров «Новые задачи в теории неравновесных фазовых переходов» УФН 160 (3) 157–159 (1990)
В.Г. Терзиев «Новые справочники по магнитным свойствам вещества» УФН 160 (2) 337–337 (1990)
А.В. Козырев «Импульсная энергетика: методы и приложения» УФН 174 807–808 (2004)
Т.О. Вреден-Кобецкая «Новые книги но физике» УФН 72 842–847 (1960)
Т.О. Вреден-Кобецкая «Новые книги по физике» УФН 69 703–713 (1959)
Т.О. Вреден-Кобецкая «Новые книги по физике» УФН 68 359–366 (1959)
Т.О. Вреден-Кобецкая «Новые книги по физике» УФН 67 371–376 (1959)
Т.И. Галкина «Неравновесные фононы в диэлектриках и полупроводниках» УФН 156 375–377 (1988)
С.Е. Сигарев «Кристаллические структуры интерметаллидов» УФН 156 377–378 (1988)
Ю.А. Александров «Техника экспериментов в ядерной физике и физике элементарных частиц» УФН 156 551–552 (1988)
А.П. Силин «Структура и динамика поверхностей: явления, модели и методы» УФН 156 188–189 (1988)
Б.М. Смирнов «Кинетика неравновесного молекулярного газа» УФН 155 545–545 (1988)
И.И. Мазин «Лекции по применению теории многократного рассеяния в расчетах электронной структуры твердых тел» УФН 155 546–547 (1988)
Ю.Н. Днестровский «Численное решение уравнения Фоккера — Планка» УФН 155 357–358 (1988)
А.П. Силин «Экситоны» УФН 155 358–359 (1988)

Список формируется автоматически.