Ю.В. Гуляева,
Ю.Л. Копылов аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация
%0 Journal Article
%T Технология СБИС: основы и применения
%A Ю. В. Гуляев
%A Ю. Л. Копылов
%I Успехи физических наук
%D 1988
%J Усп. физ. наук
%V 156
%N 11
%P 552-553
%U https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0156.198811i.0552