Воспроизведение материалов из журнала УФН в любой форме требует письменного разрешения редакции УФН.
Преподаватели, студенты и исследователи в индивидуальном порядке могут использовать материалы, находящиеся на сайте УФН, для некоммерческого использования в своей преподавательской или исследовательской деятельности.
Прочесть полный текст пользовательского соглашения.
English citation: Gulyaev Yu V, Kopylov Yu L “VLSI technology: fundamentals and applications” Sov. Phys. Usp. 31 1040–1041 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655