Технология СБИС: основы и применения

Ю.В. Гуляев^а, Ю.Л. Копылов
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Текст pdf (48 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655

PACS: 85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
Цитата: Гуляев Ю В, Копылов Ю Л "Технология СБИС: основы и применения" УФН 156 552–553 (1988)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

%0 Journal Article
%T VLSI technology: fundamentals and applications
%A Yu. V. Gulyaev
%A Yu. L. Kopylov
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 1988
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 156
%N 11
%P 552-553
%U https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0156.198811i.0552

English citation: Gulyaev Yu V, Kopylov Yu L “VLSI technology: fundamentals and applications” Sov. Phys. Usp. 31 1040–1041 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655