Технология СБИС: основы и применения

Ю.В. Гуляев^а, Ю.Л. Копылов
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Текст pdf (48 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655

PACS: 85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
Цитата: Гуляев Ю В, Копылов Ю Л "Технология СБИС: основы и применения" УФН 156 552–553 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 VLSI technology: fundamentals and applications
A1 Gulyaev,Yu.V.
A1 Kopylov,Yu.L.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1988
FD 10 Nov, 1988
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 156
IS 11
SP 552-553
DO 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552
LK https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/

English citation: Gulyaev Yu V, Kopylov Yu L “VLSI technology: fundamentals and applications” Sov. Phys. Usp. 31 1040–1041 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655