Технология СБИС: основы и применения

Ю.В. Гуляев^а, Ю.Л. Копылов
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Текст pdf (48 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655

PACS: 85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
Цитата: Гуляев Ю В, Копылов Ю Л "Технология СБИС: основы и применения" УФН 156 552–553 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI VLSI technology: fundamentals and applications
AU Gulyaev, Yu. V.
AU Kopylov, Yu. L.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1988
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 156
IS 11
SP 552-553
UR https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/i/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0156.198811i.0552

English citation: Gulyaev Yu V, Kopylov Yu L “VLSI technology: fundamentals and applications” Sov. Phys. Usp. 31 1040–1041 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005655