Распределение распыленных атомов по скоростям

Thompson M. W. The Velocity Distribution of Sputtered Atoms//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res. Ser. B. 1987. V. 18. P. 411–429. — Перевод A. II. Додонова.
Профессор М. У. Томпсон — вице-канцлер Бирмингемского университета, Англия.

Обзор экспериментальных методов определения распределений распыленных частиц по скоростям. Проведено критическое сравнение основных методов: калориметрического, динамометрического, электромагнитного кинематического и оптического. Описаны основные особенности наблюдаемых распределений для металлических поликристаллических и монокристаллических мишеней. Выделены основные механизмы распыления для таких систем.

Текст pdf (730 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811d.0513
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
Цитата: Томпсон М У "Распределение распыленных атомов по скоростям" УФН 156 513–543 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks