Распределение распыленных атомов по скоростям

Thompson M. W. The Velocity Distribution of Sputtered Atoms//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res. Ser. B. 1987. V. 18. P. 411–429. — Перевод A. II. Додонова.
Профессор М. У. Томпсон — вице-канцлер Бирмингемского университета, Англия.

Обзор экспериментальных методов определения распределений распыленных частиц по скоростям. Проведено критическое сравнение основных методов: калориметрического, динамометрического, электромагнитного кинематического и оптического. Описаны основные особенности наблюдаемых распределений для металлических поликристаллических и монокристаллических мишеней. Выделены основные механизмы распыления для таких систем.

Текст pdf (730 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811d.0513
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
Цитата: Томпсон М У "Распределение распыленных атомов по скоростям" УФН 156 513–543 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Распределение распыленных атомов по скоростям
AU Томпсон, М. У.
PB Успехи физических наук
PY 1988
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 156
IS 11
SP 513-543
UR https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0156.198811d.0513